[实用新型]改进的避免晶圆研磨液沉淀装置有效
| 申请号： | 201020223782.2 | 申请日： | 2010-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN201912901U | 公开（公告）日： | 2011-08-03 |
| 发明（设计）人： | 黄怡文 | 申请（专利权）人： | 宸沅国际股份有限公司 |
| 主分类号： | B01F5/12 | 分类号： | B01F5/12;B01F3/12;B01F15/02 |
| 代理公司： | 天津三元专利商标代理有限责任公司 12203 | 代理人： | 钱凯 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 改进 避免 研磨 沉淀 装置 | ||
1.一种改进的避免晶圆研磨液沉淀装置，其特征在于，在晶圆研磨原液输送至加其它原料搅拌混成前，特别加设一槽底具有喷流搅拌机制及导引回流管路的储存槽，由该导引回流管路连通储存槽底端及储存槽内顶部，且在晶圆研磨原液稀释搅拌后使晶圆研磨液流经的供应槽，于供应槽底加设抽引装置，且供应槽底端装设一导引回流管路连通回该供应槽内顶部及导引回流管路。
2.根据权利要求1所述的改进的避免晶圆研磨液沉淀装置，其特征在于：所述这些喷流搅拌机制为一具有磁浮转芯的动力泵，且此动力泵顶壳穿入槽底，又于顶壳中央开设一流入孔，并围绕流入孔开设数只向上偏斜散开的挤喷孔道，又于其相对于磁浮转芯外围圈设一环回旋送出通道，再圈套一通道环座，并将此环回旋送出通道的送出口连接研磨液出料管，以及并接导引回流管路，另在通道环座底固接外环布满散热片的动力机室。
3.根据权利要求1所述的改进的避免晶圆研磨液沉淀装置，其特征在于：所述供应槽底加设抽引装置，是抽引马达。
4.根据权利要求1所述的改进的避免晶圆研磨液沉淀装置，其特征在于：所述供应槽底加设抽引装置，为一具有磁浮转芯的动力泵，且此动力泵顶壳穿入槽底，又于顶壳中央开设一流入孔，并围绕流入孔开设数只向上偏斜散开的挤喷孔道，又于其相对于磁浮转芯外围圈设一环回旋送出通道，再圈套一通道环座，并将此环回旋送出通道的送出口连接研磨液出料管，以及并接导引回流管路，另在通道环座底固接外环布满散热片的动力机室。
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