[实用新型]改进的避免晶圆研磨液沉淀装置有效

专利信息
申请号: 201020223782.2 申请日: 2010-06-12
公开(公告)号: CN201912901U 公开(公告)日: 2011-08-03
发明(设计)人: 黄怡文 申请(专利权)人: 宸沅国际股份有限公司
主分类号: B01F5/12 分类号: B01F5/12;B01F3/12;B01F15/02
代理公司: 天津三元专利商标代理有限责任公司 12203 代理人: 钱凯
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 改进 避免 研磨 沉淀 装置
【说明书】:

技术领域

实用新型涉及一种改进的避免晶圆研磨液沉淀装置。

背景技术

晶圆切割研磨对于形成集成电路以及CPU所需的芯片尺寸非常重要,亦即晶圆本身的形状及尺寸,也并非从原矿中一提炼出,不须加工处理就能铸聚成预定的形状及大小,亦须对炼制成产能的每块标准直径晶圆,进行一块块切割研磨,才能形成个别集成电路以及CPU所需的芯片,而对晶圆的研磨也必须非常精细讲究,否则粗糙的磨制也会浪费很多晶圆材料,使芯片成本大增,也因此研磨晶圆的晶圆研磨液(晶圆研磨液为水性研磨浆液,二氧化硅,业界英文通称为SLURRY)调配得宜,不使过稀无研磨效果或过浓得产生过量研磨,就非常重要。

而除了在混酸槽中,混入纯水(业界英文通称为DI)、酸量适当与否会造成浓度调配问题外,更由于晶圆研磨原液的比重很重,从晶圆研磨原液到预定拌成的稀释晶圆研磨液,再送到研磨机的各个管路输配送阶段,时间一拖久就会明显地产生沉淀,使管路上层液体浓度比下层液体更浓,导致同批已混搅成的稀释晶圆研磨液研磨效果不均匀,因此,稀释前的晶圆研磨原液需用摇摇机先行混合均匀,再输送到搅拌槽加纯水扮匀后,流经供应槽送到研磨机研磨晶圆,二个小时内要全部用完,否则会沉淀到无法使用。

但是如图1为现有稀释晶圆研磨液调配管路的晶圆研磨原液筒及周围线路图所示,现有晶圆研磨原液只在晶圆研磨原液筒20、21内,以叶片泵22搅拌为之,虽然叶片泵22的叶板23也有方便伸入晶圆研磨原液筒20、21狭小槽口,可折展加大搅动面的叶形,以及螺旋搅拌的叶形,而根据实际观察叶板23及近代微流体力学的研究,使大家都知道,如同果汁机的旋叶刀板,叶片边缘切割过流体时,会或多或少无法避免地,在叶前或叶尾等尖缘处产生扰流乱漩聚积,影响扰动流体效益,一如果汁机旋叶刀板形状设计不良或用久钝毛了,倒出打好的果汁,还会在刀尖或刀板上发现严重地卡积果浆及水果纤维,就算用水充稍加冲洗也不容易洗掉,同样地晶圆研磨液在叶板23也会产生积卡,且叶板23板缘更会磨损影响搅拌效益,因此传统以叶板搅拌晶圆研磨液的效益极差。

且如图2为现有稀释晶圆研磨液调配管路的供应槽及周围线路图所示,晶圆研磨液经晶圆研磨液筒20、21内搅拌后,输送至混酸槽200内,作稀释混酸,经稀释混酸完成后的晶圆研磨液输送至供应槽300内供出主要管路再回流至供应槽300循环,但当液体回至供应槽300内时,只有在该槽300内产生循环流动,而不再进行任何扰动搅拌,会产生沉降问题而造成混合液不均,不耐久备储,导致于制程无法将晶圆研磨平准化,而导致研磨质量良率下降。有鉴于现有稀释晶圆研磨液调配管路,构造上有上述影响混合液均匀,难耐久储备的种种缺点,因而,本创作人乃积极研究改进之道,终于研制出本实用新型。

实用新型内容

本实用新型所要解决的主要技术问题在于,克服现有技术存在的上述缺陷,而提供一种改进的避免晶圆研磨液沉淀装置,本实用新型使整个预定稀释晶圆研磨液调配过程,多处有漩转循环晶圆研磨液搅拌作用,保持均匀度,以避免沉淀。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:

一种改进的避免晶圆研磨液沉淀装置,其特征在于,在晶圆研磨原液输送至加其它原料搅拌混成前,特别加设一槽底具有喷流搅拌机制及导引回流管路的储存槽,由该导引回流管路连通储存槽底端及储存槽内顶部,且在晶圆研磨原液稀释搅拌后使晶圆研磨液流经的供应槽,于供应槽底加设抽引装置,且供应槽底端装设一导引回流管路连通回该供应槽内顶部及导引回流管路。

前述的改进的避免晶圆研磨液沉淀装置,其中这些喷流搅拌机制为一具有磁浮转芯的动力泵,且此动力泵顶壳穿入槽底,又于顶壳中央开设一流入孔,并围绕流入孔开设数只向上偏斜散开的挤喷孔道,又于其相对于磁浮转芯外围圈设一环回旋送出通道,再圈套一通道环座,并将此环回旋送出通道的送出口连接研磨液出料管,以及并接导引回流管路,另在通道环座底固接外环布满散热片的动力机室。

前述的改进的避免晶圆研磨液沉淀装置,其中供应槽底加设抽引装置,是抽引马达。

前述的改进的避免晶圆研磨液沉淀装置,其中供应槽底加设抽引装置,为一具有磁浮转芯的动力泵,且此动力泵顶壳穿入槽底,又于顶壳中央开设一流入孔,并围绕流入孔开设数只向上偏斜散开的挤喷孔道,又于其相对于磁浮转芯外围圈设一环回旋送出通道,再圈套一通道环座,并将此环回旋送出通道的送出口连接研磨液出料管,以及并接导引回流管路,另在通道环座底固接外环布满散热片的动力机室。

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