[实用新型]一种硅片处理设备及其定位机构有效
申请号: | 201020231159.1 | 申请日: | 2010-06-18 |
公开(公告)号: | CN201804892U | 公开(公告)日: | 2011-04-20 |
发明(设计)人: | 吴晓松;陆杰;潘加永;何广春 | 申请(专利权)人: | 无锡尚德太阳能电力有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/68;H01L21/677 |
代理公司: | 北京金信立方知识产权代理有限公司 11225 | 代理人: | 黄威;孙丽梅 |
地址: | 214028 江苏省无锡*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 硅片 处理 设备 及其 定位 机构 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种定位机构及具有这种定位机构的硅片处理设备,尤其涉及一种用于在太阳电池的制造过程中对传送机构所传送的硅片进行定位的定位机构及具有这种定位机构的硅片处理设备。
背景技术
在传统的太阳电池湿制程设备中,上下料机都是通过承载盒中转的,上料时,上料机将从承载盒中取出的硅片通过皮带机构,一片一片的排列成一排,由定位挡块定位,对应到清洗机的5条轨道;而在下料时,下料机通过皮带传送机构,把5条轨道上的硅片送出,再由定位挡块定位排列成一排,进行并道然后送入承载盒中。其中挡块机构要么是固定在传送机构上,要么随同硅片一起升降,在硅片升降时或转向运送时存在摩擦,从而导致碎片的产生,甚至使得生产不能正常地持续。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种在太阳电池的制造过程中对传送机构所传送的硅片进行定位后、不再接触硅片的硅片处理设备及其定位机构,其确保了硅片不会因为与定位挡块的摩擦而损坏硅片。
为了达到上述目的,本实用新型提供了一种定位机构,用于在太阳电池的制造过程中对传送机构所传送的硅片进行定位,所述传送机构包括顺次传送所述硅片的第一传送轨道和第二传送轨道,所述第一传送轨道与第二传送轨道垂直相接,其特征在于,所述定位机构包括:多个定位挡块,其可移动地设置在所述第一传送轨道的传送方向上,用于在所述第一传送轨道的传送方向上定位所述硅片;至少一个气缸,其构造为在所述硅片到位之前控制所述定位挡块移动至定位位置,并在所述硅片由所述定位挡块定位后控制所述定位挡块移动到与所述硅片分离的分离位置。
优选地,所述定位机构还包括:底板,其平行于所述第一或第二传送轨道的传送方向设置,用于固定和/或连接所述定位挡块或所述气缸。
优选地,所述底板设置于所述第一传送轨道的下方并平行于所述第一传送轨道的传送方向;所述气缸包括沿所述底板的长度方向设置于所述底板上的多个升降气缸;所述多个定位挡块与各个所述升降气缸的气缸轴连接,并在气缸的控制下在所述硅片到位之前依次从所述第一传送轨道的表面穿出,以依次定位在所述第一传送轨道上移动的硅片。
优选地,所述气缸还包括与所述底板的一侧连接的水平气缸,其构造为在所述硅片由所述定位挡块定位后,带动所述底板沿所述第一传送轨道的传送方向水平移动,从而使得所述定位挡块移动到与所述硅片分离的分离位置。
优选地,所述底板设置于所述第二传送轨道的外侧并与所述第二传送轨道的传送方向平行;所述定位挡块沿所述第二传送轨道的传送方向间隔设置于所述底板上;所述气缸与所述底板连接,并构造为带动所述底板移动,从而在所述硅片到位之前控制所述定位挡块移动至定位位置并在所述硅片由所述定位挡块定位后控制所述定位挡块移动到与所述硅片分离的分离位置。
优选地,所述传送机构还包括设置在所述第一传送轨道与第二传送轨道的垂直相接处的交叉传送装置,所述交叉传送装置构造为将所述硅片从所述第一传送轨道传送到所述第二传送轨道,所述定位挡块靠近所述交叉传送装置而设置。
优选地,所述定位挡块的与所述硅片接触的一面为平面。
优选地,所述定位挡块由塑料制成。
优选地,所述定位挡块由高聚物制成。
本实用新型还提供了一种制造太阳电池用的硅片处理设备,包括硅片传送机构及上述对传送机构所传送的硅片进行定位的定位机构。
本实用新型的有益效果是,其解决了硅片传输过程中传输轨道变轨的定位问题,且有效减少了碎片的产生,保证了生产的正常和持续。
附图说明
图1为本实用新型的用于上料机的定位机构的示意图;
图2为上料机的传送机构的示意图;
图3是本实用新型的用于下料机的定位机构的示意图;
图4为下料机的传送机构的示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步地详细描述。
根据本实用新型的制造太阳电池用的硅片处理设备,包括硅片传送机构和对传送机构所传送的硅片进行定位的定位机构。图1为本实用新型的用于上料机的定位机构的示意图;图2为上料机的传送机构的示意图。如图2所示,在上料过程中,传送机构包括顺次传送硅片的第一传送轨道11和第二传送轨道12,第一传送轨道11与第二传送轨道12垂直相接。
在本实用新型的另一个实施例中,在第一传送轨道11与第二传送轨道12的垂直相接处可设置有交叉传送装置13,交叉传送装置13构造为将硅片从第一传送轨道11传送到第二传送轨道12,定位挡块靠近交叉传送装置13而设置。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的