[实用新型]单晶炉、多晶炉循环水管道装置无效
| 申请号： | 201020231828.5 | 申请日： | 2010-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN201713609U | 公开（公告）日： | 2011-01-19 |
| 发明（设计）人： | 钱新江;朱景福 | 申请（专利权）人： | 安徽日能中天半导体发展有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 | 代理人： | 余成俊 |
| 地址： | 237200*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 单晶炉 多晶 循环 水管 装置 | ||
【权利要求书】：
1.单晶炉、多晶炉循环水管道装置，包括有笔直的连通至单晶炉或多晶炉的主管道，其特征在于：还包括多个水泵，每个水泵的进、出水口上分别对应安装有进、出水管道，所述进水管道分别连通至所述单晶炉或多晶炉，所述出水管道分别从主管道上方与主管道连通，多个出水管道彼此平行且均相对所述主管道倾斜相同的角度。
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