[实用新型]一种抑制软轴提拉型单晶炉软轴摆动的阻尼套支撑装置

权利要求书

1.一种抑制软轴提拉型单晶炉软轴摆动的阻尼套支撑装置，其特征在于，包括副室（5），垂直于副室（5）径向穿过副室（5）平行设置有螺杆（10）及导杆（17），所述的螺杆（10）的一端通过联轴器（13）与伺服电机（14）相连接，垂直于螺杆（10）及导杆（17）设置有左支撑臂（6）及右支撑臂（9），左支撑臂（6）及右支撑臂（9）的螺纹套部分设置在螺杆（10）上，左支撑臂（6）及右支撑臂（9）的一端分别设置有半阻尼套（8），左支撑臂（6）及右支撑臂（9）的另一端滑套部分设置在导杆（17）上。

2.根据权利要求1所述的阻尼套支撑装置，其特征在于，所述的右支撑臂（9）的两侧在导杆（17）上设置有行程开关（18）。

3. 根据权利要求1所述的阻尼套支撑装置，其特征在于，所述的左支撑臂（6）的两侧在导杆（17）上设置有行程开关（18）。

4. 根据权利要求1所述的阻尼套支撑装置，其特征在于，所述的螺杆（10）的一端通过螺钉（4）固定有相配合的轴承端盖（3）及轴承（2），该端通过密封圈（1）与副室（5）密封，螺杆（10）的另一端通过磁流体密封器（11）与副室（5）密封。

5. 根据权利要求1所述的阻尼套支撑装置，其特征在于，所述的导杆（17）的两端用密封圈与副室（5）密封。

6. 根据权利要求1所述的阻尼套支撑装置，其特征在于，所述的螺杆（10）两端的螺纹旋向相反。

7. 根据权利要求1所述的阻尼套支撑装置，其特征在于，所述的伺服电机（14）通过电机支架（12）固定在副室（5）外壁上。

8. 根据权利要求1所述的阻尼套支撑装置，其特征在于，所述的导杆（17）的两端通过螺钉（15）固定有端盖（16）。