[实用新型]一种抑制软轴提拉型单晶炉软轴摆动的阻尼套支撑装置

说明书

技术领域

 本实用新型属于单晶材料制造装置技术领域，涉及一种阻尼套装置，具体涉及一种抑制软轴提拉型单晶炉软轴摆动的阻尼套支撑装置。

背景技术

软轴提拉型单晶炉采用直拉法制造单晶，它是由软轴带动籽晶边旋转边上升来生长单晶。实际设备中由于各零件的制造、装配等误差使得悬垂软轴上端与其旋转中心存在对中偏差，在工作中软轴—单晶系统的旋转运动使得软轴—单晶类似圆锥摆一样摆动，影响了单晶的生长质量。另外软轴—单晶系统的基频（最小固有频率）较低，且正好在籽晶旋转转速范围内，当籽晶旋转角速度接近软轴—单晶系统的基频时，软轴—单晶系统摆动量明显增加，使得设备在接近这一转速时无法生产出合格的单晶，只能避开这段工作转速来生产单晶，从而限制了单晶炉的转速范围，影响了其生产效率。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种抑制软轴提拉型单晶炉软轴摆动的阻尼套支撑装置，解决了现有方法采用阻尼套的阻尼作用来减小软轴的摆动，阻尼套的安装位置受到结构的限制，使得抑制软轴摆动的效果不佳的问题。

本实用新型所采用的技术方案是，一种抑制软轴提拉型单晶炉软轴摆动的阻尼套支撑装置，包括副室，垂直于副室径向穿过副室平行设置有螺杆及导杆，螺杆的一端通过联轴器与伺服电机相连接，垂直于螺杆及导杆设置有左支撑臂及右支撑臂，左支撑臂及右支撑臂的螺纹套部分设置在螺杆上，左支撑臂及右支撑臂的一端分别设置有半阻尼套，左支撑臂及右支撑臂的另一端滑套部分设置在导杆上。

本实用新型的特点还在于，

其中的右支撑臂的两侧在导杆上设置有行程开关。

其中的左支撑臂的两侧在导杆上设置有行程开关。

其中的螺杆的一端通过螺钉固定有相配合的轴承端盖及轴承，该端通过密封圈与副室密封，螺杆的另一端通过磁流体密封器与副室密封。

其中的导杆的两端用密封圈与副室密封。

其中的螺杆两端的螺纹旋向相反。

其中的伺服电机通过电机支架固定在副室外壁上。

其中的导杆的两端通过螺钉固定有端盖。

本实用新型的有益效果是，结构简单、自动开合，该装置安装在单晶炉副室上，增大了软轴上端悬点至阻尼器的位置，能更有效抑制软轴提拉型单晶炉软轴摆动。能够实现自动开合，该机构即使安装在距软轴上端悬点较远的地方，也不会限制籽晶夹头的行程。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种抑制软轴提拉型单晶炉软轴摆动的阻尼套支撑装置，解决了现有方法采用阻尼套的阻尼作用来减小软轴的摆动，阻尼套的安装位置受到结构的限制，使得抑制软轴摆动的效果不佳的问题。

本实用新型所采用的技术方案是，一种抑制软轴提拉型单晶炉软轴摆动的阻尼套支撑装置，包括副室，垂直于副室径向穿过副室平行设置有螺杆及导杆，螺杆的一端通过联轴器与伺服电机相连接，垂直于螺杆及导杆设置有左支撑臂及右支撑臂，左支撑臂及右支撑臂的螺纹套部分设置在螺杆上，左支撑臂及右支撑臂的一端分别设置有半阻尼套，左支撑臂及右支撑臂的另一端滑套部分设置在导杆上。

本实用新型的特点还在于，

其中的右支撑臂的两侧在导杆上设置有行程开关。

其中的左支撑臂的两侧在导杆上设置有行程开关。

其中的螺杆的一端通过螺钉固定有相配合的轴承端盖及轴承，该端通过密封圈与副室密封，螺杆的另一端通过磁流体密封器与副室密封。

其中的导杆的两端用密封圈与副室密封。

其中的螺杆两端的螺纹旋向相反。

其中的伺服电机通过电机支架固定在副室外壁上。

其中的导杆的两端通过螺钉固定有端盖。

本实用新型的有益效果是，结构简单、自动开合，该装置安装在单晶炉副室上，增大了软轴上端悬点至阻尼器的位置，能更有效抑制软轴提拉型单晶炉软轴摆动。能够实现自动开合，该机构即使安装在距软轴上端悬点较远的地方，也不会限制籽晶夹头的行程。

附图说明

图1为现有单晶炉提拉系统阻尼套距软轴上端悬点的距离为100mm时建模分析的仿真结果；

图2为现有单晶炉提拉系统阻尼套距软轴上端悬点的距离为200mm时建模分析的仿真结果；

图3为现有单晶炉提拉系统阻尼套距软轴上端悬点的距离为300mm时建模分析的仿真结果；

图4为现有单晶炉提拉系统阻尼套距软轴上端悬点的距离为300mm时建模分析的仿真结果；

图5是本实用新型阻尼套支撑装置一种实施例的结构示意图。