[实用新型]用于清洁曝光设备的母版上的图形区的清洁装置有效

专利信息
申请号: 201020238099.6 申请日: 2010-06-23
公开(公告)号: CN201780452U 公开(公告)日: 2011-03-30
发明(设计)人: 费悦;田玉民 申请(专利权)人: 四川虹欧显示器件有限公司
主分类号: G03F1/00 分类号: G03F1/00
代理公司: 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 代理人: 吴贵明
地址: 621000 四川省绵阳市*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 用于 清洁 曝光 设备 母版 图形 装置
【权利要求书】:

1.一种用于清洁曝光设备的母版上的图形区的清洁装置,其特征在于,所述清洁装置包括:

导轨(5),所述导轨(5)与母版(3)的长度方向平行地布置在所述母版(3)的侧部;

套筒(6),安装在所述导轨(5)上,并且能够沿所述导轨(5)自由滑动;

其中,所述套筒(6)为圆柱形空心套筒,并包括:金属外壳(10);以及粘性膜层(9),套设在所述金属外壳(10)外。

2.根据权利要求1所述的清洁装置,其特征在于,所述套筒(6)的长度不小于图形区(4)的宽度。

3.根据权利要求2所述的清洁装置,进一步包括:杆(7),所述杆(7)的一端连接至所述套筒(6)。

4.根据权利要求3所述的清洁装置,其特征在于,所述杆(7)具有枢转轴,所述杆(7)能够围绕所述枢转轴枢转,并相对于所述导轨(5)具有直立和平放两种状态。

5.根据权利要求1所述的清洁装置,其特征在于,所述金属外壳(10)连接有低压电源。

6.根据上述权利要求中任一项所述的清洁装置,其特征在于,所述导轨(5)为分别布置在所述母版(3)一侧的两条导轨(5a、5b),所述套筒(6)为分别安装在所述两条导轨(5a、5b)中 的一条上且能够沿所述导轨自由滑动的两个套筒(6a、6b),并且所述杆(7)为分别与所述两个套筒(6a、6b)中的一个的一端连接的两个杆(7a、7b)。 

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