[实用新型]用于清洁曝光设备的母版上的图形区的清洁装置有效
申请号: | 201020238099.6 | 申请日: | 2010-06-23 |
公开(公告)号: | CN201780452U | 公开(公告)日: | 2011-03-30 |
发明(设计)人: | 费悦;田玉民 | 申请(专利权)人: | 四川虹欧显示器件有限公司 |
主分类号: | G03F1/00 | 分类号: | G03F1/00 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 吴贵明 |
地址: | 621000 四川省绵阳市*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 清洁 曝光 设备 母版 图形 装置 | ||
1.一种用于清洁曝光设备的母版上的图形区的清洁装置,其特征在于,所述清洁装置包括:
导轨(5),所述导轨(5)与母版(3)的长度方向平行地布置在所述母版(3)的侧部;
套筒(6),安装在所述导轨(5)上,并且能够沿所述导轨(5)自由滑动;
其中,所述套筒(6)为圆柱形空心套筒,并包括:金属外壳(10);以及粘性膜层(9),套设在所述金属外壳(10)外。
2.根据权利要求1所述的清洁装置,其特征在于,所述套筒(6)的长度不小于图形区(4)的宽度。
3.根据权利要求2所述的清洁装置,进一步包括:杆(7),所述杆(7)的一端连接至所述套筒(6)。
4.根据权利要求3所述的清洁装置,其特征在于,所述杆(7)具有枢转轴,所述杆(7)能够围绕所述枢转轴枢转,并相对于所述导轨(5)具有直立和平放两种状态。
5.根据权利要求1所述的清洁装置,其特征在于,所述金属外壳(10)连接有低压电源。
6.根据上述权利要求中任一项所述的清洁装置,其特征在于,所述导轨(5)为分别布置在所述母版(3)一侧的两条导轨(5a、5b),所述套筒(6)为分别安装在所述两条导轨(5a、5b)中 的一条上且能够沿所述导轨自由滑动的两个套筒(6a、6b),并且所述杆(7)为分别与所述两个套筒(6a、6b)中的一个的一端连接的两个杆(7a、7b)。
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G03F 图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F1-00 用于图纹面的照相制版的原版,例如掩膜,光掩膜;其所用空白掩膜或其所用薄膜;其专门适用于此的容器;其制备
G03F1-20 .用于通过带电粒子束(CPB)辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如通过电子束;其制备
G03F1-22 .用于通过100nm或更短波长辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如 X射线掩膜、深紫外
G03F1-26 .相移掩膜[PSM];PSM空白;其制备
G03F1-36 .具有临近校正特征的掩膜;其制备,例如光学临近校正(OPC)设计工艺
G03F1-38 .具有辅助特征的掩膜,例如用于校准或测试的特殊涂层或标记;其制备