[实用新型]一种扫描电子显微镜用可以扭转试样的样品台有效
申请号: | 201020239339.4 | 申请日: | 2010-06-28 |
公开(公告)号: | CN202167450U | 公开(公告)日: | 2012-03-14 |
发明(设计)人: | 刘科高;王志刚;逄波;孙喜桂;许斌 | 申请(专利权)人: | 山东建筑大学 |
主分类号: | H01J37/20 | 分类号: | H01J37/20;G01N23/22 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 250101 山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 扫描 电子显微镜 可以 扭转 试样 样品 | ||
【权利要求书】:
1.一种扫描电子显微镜用可以扭转试样的样品台,包括样品台底座和机械装夹装置,其特征是:机械装夹装置是由操纵杆、内六角螺栓和试样固定端组成。
2.根据权利要求1所述的一种扫描电子显微镜用可以扭转试样的样品台,其特征是:操纵杆与样品台底座为螺纹连接。
3.根据权利要求1所述的一种扫描电子显微镜用可以扭转试样的样品台,其特征是:试样固定端与样品台底座为活动连接。
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