[实用新型]一种扫描电子显微镜用可以扭转试样的样品台有效
申请号: | 201020239339.4 | 申请日: | 2010-06-28 |
公开(公告)号: | CN202167450U | 公开(公告)日: | 2012-03-14 |
发明(设计)人: | 刘科高;王志刚;逄波;孙喜桂;许斌 | 申请(专利权)人: | 山东建筑大学 |
主分类号: | H01J37/20 | 分类号: | H01J37/20;G01N23/22 |
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地址: | 250101 山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 扫描 电子显微镜 可以 扭转 试样 样品 | ||
技术领域:
本实用新型涉及的是一种在扫描电子显微镜中使用的动态观察组织的设备,尤其涉及一种扫描电子显微镜用可以扭转试样的样品台的制备与研发领域。
背景技术:
在现有技术中,公知的技术是扫描电子显微镜中在用的普通样品台和进口的多功能样品台。现有的普通样品台只有放置试样并使其移动位置的功能,不能对试样进行扭转等操作,不能实现在试样变形时动态观察样品的组织。进口的多功能样品台包括机械装夹样品的部分及其电动驱动装置和自动控制系统,由于实行机电一体的控制,因而机构复杂,价格昂贵,难以实用化。这是现有技术所存在的不足之处。
发明内容:
本实用新型的目的,就是针对现有技术所存在的不足,而提供一种有扭转功能且结构简单的样品台,该样品台不但能实现扭转试样时在扫描电子显微镜下动态观察组织的目的,而且成本低廉、实用性强。
本实用新型解决技术问题所采用的技术方案是:一种扫描电子显微镜用可以扭转试样的样品台,包括样品台底座和机械装夹装置,其中在样品台底座上,设置一个由操纵杆、内六角螺栓和试样固定端所组成的机械装夹装置。在该装置中,操纵杆与样品台底座为螺纹连接;试样固定端与样品台底座为活动连接。当转动操纵杆时,试样固定端不动,从而实现扭转试样的目的。
本实用新型的有益效果是:可扭转试样,实现动态观察组织。另外,该样品台只含机械装夹部分,结构简单、成本低廉、实用性强。
附图说明:
图1和图2为本实用新型具体实施方式的结构示意图,图1为前视图,图2为俯视图。
图3是图2中试样固定端的三视图。
图4是图2中操纵杆的三视图。
图中,1为内六角螺栓,2为样品台底座,3为燕尾槽,4为试样固定端,5为试样,6为 操纵杆。
具体实施方式:
为能清楚说明本方案的技术特点,下面通过一个具体实施方式并结合附图对本方案进行阐述。
在图1和2中,操纵杆(6)与样品台底座(2)为螺纹连接;试样固定端(4)与样品台底座(2)为活动连接。当转动操纵杆(6)时,试样固定端(4)不动,从而扭转试样(5)。
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