[实用新型]电解蚀刻电极装置

权利要求书

1.一种电解蚀刻电极装置，包括电极(1)，其特征在于：所述电极(1)的与底面(1-1)相邻且互相相对的两个侧面(1-2、1-3)处分别设有出液头(10)，出液头(10)上具有进液口(10-1-1)和出液口(10-1-2)，两侧的出液头(10)直接与电极(1)装连，或者两侧的出液头(10)通过机架(11)与电极(1)装连。

2.根据权利要求1所述的电解蚀刻电极装置，其特征在于：所述出液头(10)是与电极(1)的侧面(1-2、1-3)相装连的板形体，出液头(10)包括板座(10-2)和板盖(10-3)，板座(10-2)与板盖(10-3)密封固定连接，且板座(10-2)与板盖(10-3)之间设有液体通道(10-1)，进液口(10-1-1)设在板盖(10-3)上，板座(10-2)上有与液体通道(10-1)连通的出液口(10-1-2)。

3.根据权利要求1所述的电解蚀刻电极装置，其特征在于：所述出液头(10)是与机架(11)装连的板形体，出液头(10)包括板座(10-2)和板盖(10-3)，板座(10-2)与板盖(10-3)密封固定连接，且板座(10-2)与板盖(10-3)之间设有液体通道(10-1)，进液口(10-1-1)设在板盖(10-3)上，板座(10-2)上有与液体通道(10-1)连通的出液口(10-1-2)。

4.根据权利要求1所述的电解蚀刻电极装置，其特征在于：所述出液头(10)是与电极(1)的侧面(1-2、1-3)装连的管道。

5.根据权利要求1所述的电解蚀刻电极装置，其特征在于：所述出液头(10)是与机架(11)装连的管道。

6.根据权利要求1所述的电解蚀刻电极装置，其特征在于：所述电极(1)两侧的出液头(10)的出液口(10-1-2)方向相向，且均朝向电极(1)底部及电极(1)的底面(1-1)下方的空间。

7.根据权利要求1所述的电解蚀刻电极装置，其特征在于：所述电极(1)两侧的出液头(10)的出液口(10-1-2)方向相同，其中一个出液口(10-1-2)朝向电极(1)底部及电极(1)的底面(1-1)下方的空间。

8.根据权利要求1或2或3或6或7所述的电解蚀刻电极装置，其特征在于：所述电极(1)两侧的出液头(10)的进液口(10-1-1)均通过管路(12)连接有进液阀(4)，进液阀(4)的进口均连通到主供液管(3)，主供液管(3)由固定在电极(1)上的支撑件(5)支撑固定。

9.根据权利要求1或2或3或6或7所述的电解蚀刻电极装置，其特征在于：所述电极(1)两侧的出液头(10)均具有若干进液口(10-1-1)，每个进液口(10-1-1)均通过各自的管路(12)连接有各自的进液阀(4)，每侧的进液阀(4)连通到每侧的供液管(13)上。

10.根据权利要求1或2或6或7所述的电解蚀刻电极装置，其特征在于：所述出液头(10)的板盖(10-3)上固定有滚轮支架(2)，滚轮支架(2)上装有滚轮轴(6)，滚轮轴(6)上装有若干滚轮(7)和隔套(8)，隔套(8)位于滚轮(7)之间，滚轮(7)的轮底低于电极(1)的底面(1-1)。