[实用新型]电解蚀刻电极装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种电解蚀刻设备，特别是有关电解蚀刻设备的电极装置。

背景技术

目前，在现有的电解蚀刻设备中，电解蚀刻电极装置一般包括电极、电极的一侧设有出液头或出液管道，出液头或出液管的出口朝向电极底部及电极底面下方的空间。这种电解蚀刻电极装置在连续电解蚀刻过程中，当被电解蚀刻板移动到电极的下方时，出液头或出液管道的出口喷出的电解蚀刻液可以填满被电解蚀刻板与电极之间的间隙，因此可以正常地进行电解蚀刻；但是，当被电解蚀刻板继续移动且将要离开电极下方时，由于出液头或出液管道的出口只从电极的一侧喷电解蚀刻液，使得被电解蚀刻板尾部与电极之间的间隙中很难存放并填满电解蚀刻液，使电解蚀刻进行得不均匀，加工后的被电解蚀刻板上图案蚀刻深度前后不均匀，严重影响了产品质量，甚至导致产品报废。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种能对被电解蚀刻板进行均匀电解蚀刻的电解蚀刻电极装置。

为了达到上述目的，本实用新型的技术方案是：一种电解蚀刻电极装置，包括电极，所述电极的与底面相邻且互相相对的两个侧面处分别设有出液头，出液头上具有进液口和出液口，两侧的出液头直接与电极装连，或者两侧的出液头通过机架与电极装连。

为了便于制造出液头，所述出液头是与电极的侧面相装连的板形体，出液头包括板座和板盖，板座与板盖密封固定连接，且板座与板盖之间设有液体通道，进液口设在板盖上，板座上有与液体通道连通的出液口。

或者所述出液头是与机架装连的板形体，出液头包括板座和板盖，板座与板盖密封固定连接，且板座与板盖之间设有液体通道，进液口设在板盖上，板座上有与液体通道连通的出液口。

所述出液头是与电极的侧面装连的管道。

或者所述出液头是与机架装连的管道。

为了使喷出的电解蚀刻液分布更均匀，所述电极两侧的出液头的出液口方向相向，且均朝向电极底部及电极的底面下方的空间。或者所述电极两侧的出液头的出液口方向相同，其中一个出液口朝向电极底部及电极的底面下方的空间。

为了便于调节电解蚀刻液的流量，提高电解蚀刻效率，所述电极两侧的出液头的进液口均通过管路连接有进液阀，进液阀的进口均连通到主供液管，主供液管由固定在电极上的支撑件支撑固定。

或者所述电极两侧的出液头均具有若干进液口，每个进液口均通过各自的管路连接有各自的进液阀，每侧的进液阀连通到每侧的供液管上。

为了在使用时保持电极与被电解蚀刻板的合适距离，防止短路，所述出液头的板盖上固定有滚轮支架，滚轮支架上装有滚轮轴，滚轮轴上装有若干滚轮和隔套，隔套位于滚轮之间，滚轮的轮底低于电极的底面。

采用上述结构后，由于所述电极的与底面相邻且互相相对的两个侧面处分别设有出液头，两侧的出液头直接与电极装连，或者两侧的出液头通过机架与电极装连，因此本实用新型在连续电解蚀刻过程中，两侧的出液头可从相反或相同的方向同时或先后朝电极底部及电极的底面下方的空间喷电解蚀刻液，无论被电解蚀刻板移动到电极的下方或是将要离开电极下方时，两侧的出液头喷出的电解蚀刻液均可以填满被电解蚀刻板与电极之间的间隙，使电解蚀刻均匀进行，加工后的被电解蚀刻板的图案蚀刻深度前后均匀，产品质量高，成品率高。同时，本实用新型还具有整体结构紧凑、占空间小，便于组装，经久耐用的特点。

附图说明

以下结合附图给出的实施例对本实用新型作进一步详细的说明。

图1是本实用新型的电解蚀刻电极装置第一个实施例的结构正视图；

图2是图1的俯视图；

图3是图1的左视图；

图4是图1沿A-A线的剖视图；

图5是图4的C部放大图；

图6是图1沿B-B线的剖视图；

图7是图1中的出液头的板盖的结构正视图；

图8是图7的后视图；

图9是图7沿D-D线的剖视图；

图10是图7沿E-E线的剖视图；

图11是图1中的出液头的板座的结构正视图；

图12是图11的后视图；

图13是图11沿F-F线的剖视图；

图14是图11沿G-G线的剖视图；

图15是图11沿H部的放大图；

图16是本实用新型第二个实施例的结构正视图；

图17是图16的俯视图；

图18是图16中的出液头的板盖的结构正视图；

图19是图18的后视图；

图20是图16中的出液头的板座的结构正视图；

图21是图20的后视图；