[实用新型]集成电路装片机涂胶模块

权利要求书

1.一种集成电路装片机涂胶模块，包含运动控制单元(1)、气动控制单元(3)、涂胶头(6)，其特征在于：运动控制单元(1)连接三维空间数控器件(2)，采用X轴、Y轴、Z轴三自由度的运动定位；气动控制单元(3)连接时间-气压控制器件(4)，采用含有电气比例阀(5)的器件控制涂胶量；涂胶头(6)安装在X轴上，X轴与两根Y轴导轨形成龙门拱架结构(7)。

2.根据权利要求1所述的集成电路装片机涂胶模块，其特征在于：所述的气动控制单元(3)利用三维视觉采集实现涂胶量的在线数字监测。

3.根据权利要求1或2所述的集成电路装片机涂胶模块，其特征在于：所述的气动控制单元(3)通过改变电气比例阀(5)上的电压来调节气压。

4.根据权利要求1所述的集成电路装片机涂胶模块，其特征在于：所述的涂胶头(6)在X轴上采用同步控制的双AC伺服电机(8)驱动，进一步减低震动。

5.根据权利要求1或4所述的集成电路装片机涂胶模块，其特征在于：所述的涂胶头(6)的涂胶具有点胶和画胶两种模式，以实现对不同的涂胶面积、涂胶形状和涂胶量的数字控制。