[实用新型]用于清洗晶圆盒底部的机器有效
| 申请号： | 201020246396.5 | 申请日： | 2010-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN201728197U | 公开（公告）日： | 2011-02-02 |
| 发明（设计）人： | 田华;桂鹏 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/04 | 分类号： | B08B1/04 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 20120*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 清洗 晶圆盒 底部 机器 | ||
1.一种用于清洗晶圆盒底部的机器，其特征在于，包括主工作台，所述主工作台的顶部设有用于擦洗所述晶圆盒底部的清洗部件，所述主工作台内还设有用于驱动所述清洗部件的驱动部件，所述主工作台的内部对应清洗部件的下方设有排气装置。
2.如权利要求1所述的用于清洗晶圆盒底部的机器，其特征在于，所述清洗部件包括若干滚轮，所述滚轮的圆柱外表面绕置有清洗布。
3.如权利要求2所述的用于清洗晶圆盒底部的机器，其特征在于，所述清洗布是无尘布。
4.如权利要求2所述的用于清洗晶圆盒底部的机器，其特征在于，所述驱动部件通过传送皮带带动所述清洗部件中的各个滚轮转动。
5.如权利要求1所述的用于清洗晶圆盒底部的机器，其特征在于，所述驱动部件是减速电机。
6.如权利要求2所述的用于清洗晶圆盒底部的机器，其特征在于，所述滚轮的数量是2-6个。
7.如权利要求6所述的用于清洗晶圆盒底部的机器，其特征在于，所述滚轮的数量是4个。
8.如权利要求1所述的用于清洗晶圆盒底部的机器，其特征在于，所述排气装置是一抽排管路，所述抽排管路连接外部的用于产生负压的雾气收集器。
9.如权利要求1所述的用于清洗晶圆盒底部的机器，其特征在于，还包括电气柜和控制面板，所述控制面板与设置于所述电气柜内的用于控制驱动部件和排气装置的控制元件相连接。
10.如权利要求1所述的用于清洗晶圆盒底部的机器，其特征在于，所述电气柜设置在所述主工作台的侧面。
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