[实用新型]用于清洗晶圆盒底部的机器

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种清洗机器，尤其涉及一种用于清洗晶圆盒底部的机器。

背景技术

半导体生产领域内，大多数的晶圆盒底部是由塑料制成的。当晶圆盒在运输过程中以及在机台上面，容易使得晶圆盒底部和其他部件(包括机台)之间的接触面发生磨损，从而会产生大量塑料小颗粒。在跑货的时候，晶圆盒会打开，以便将晶圆放入晶圆盒或将晶圆从晶圆盒中取出。而当晶圆盒打开的时候，这些塑料小颗粒会乘机进入晶圆盒内，容易附着到晶圆上，不但会污染晶圆，而且会造成很多晶圆被塑料小颗粒划伤，最终致使产品良率的降低。

当出现这样情况时，操作人员会将机台停下来，清洗晶圆盒、晶圆盒底部以及相关的标准机械接口。而频繁的停机清洗，会严重影响生产效率。

因此，如何提供一种方便、彻底地清洗晶圆的底部的机器是本领域亟待解决的一个技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于清洗晶圆盒底部的机器，可以方便、彻底地清洗晶圆的底部。

为了达到上述的目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种用于清洗晶圆盒底部的机器，包括主工作台，所述主工作台的顶部设有用于擦洗所述晶圆盒底部的清洗部件，所述主工作台内还设有用于驱动所述清洗部件的驱动部件，所述主工作台的内部对应清洗部件的下方设有排气装置。

在上述的用于清洗晶圆盒底部的机器中，所述清洗部件包括若干滚轮，所述滚轮的圆柱外表面绕置有清洗布。

在上述的用于清洗晶圆盒底部的机器中，所述清洗布是无尘布。

在上述的用于清洗晶圆盒底部的机器中，所述驱动部件通过传送皮带带动所述清洗部件中的各个滚轮转动。

在上述的用于清洗晶圆盒底部的机器中，所述滚轮的数量是2-6个。

在上述的用于清洗晶圆盒底部的机器中，所述滚轮的数量是4个。

在上述的用于清洗晶圆盒底部的机器中，所述排气装置是一抽排管路，所述抽排管路连接外部的用于产生负压的雾气收集器。

在上述的用于清洗晶圆盒底部的机器中，还包括电气柜和控制面板，所述控制面板与设置于所述电气柜内的用于控制驱动部件和排气装置的控制元件相连接。

在上述的用于清洗晶圆盒底部的机器中，所述电气柜设置在所述主工作台的侧面。

本实用新型用于清洗晶圆盒底部的机器，结构简单，使用方便，通过转动的清洗部件，可以将附着于晶圆盒底部内壁的塑料小颗粒擦拭下来，然后通过排气装置将晶圆盒底部的空间内的塑料小颗粒抽排出去，从而，彻底将晶圆盒底部内的塑料小颗粒清除，进而，防止这些塑料小颗粒进入晶圆盒而影响晶圆产品良率。同时，避免了机台由于要清洗相关部件而不得不停机所造成的损失。

附图说明

本实用新型的用于清洗晶圆盒底部的机器由以下的实施例及附图给出。

图1是用于清洗晶圆盒底部的机器的结构示意图；

图2是图1的右视图；

图3是图1的俯视图；

图中，1-主工作台、2-电气柜、3-减速电机、4-传送皮带、5-滚轮、6-抽排管路、7-雾气收集器、8-控制面板、81-急停按钮、82-启动按钮、83-停止按钮、9-防护盖、10-固定板。

具体实施方式

以下将对本实用新型的用于清洗晶圆盒底部的机器作进一步的详细描述。

下面将参照附图对本实用新型进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。

为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本实用新型由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须作出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。

为使本实用新型的目的、特征更明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步的说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

请参见图1-3，图1所示为用于清洗晶圆盒底部的机器的一个实施例的结构示意图，图2是图1的右视图，图3是图1的俯视图。