[实用新型]液体存储装置有效
| 申请号： | 201020264922.0 | 申请日： | 2010-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN201857044U | 公开（公告）日： | 2011-06-08 |
| 发明（设计）人： | 王世明 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B65D90/32 | 分类号： | B65D90/32;B65D88/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 液体 存储 装置 | ||
1.一种液体存储装置，包括：储液罐、进液管路、出液管路以及进气管路，所述进液管路、出液管路以及进气管路均与所述储液罐连接，其特征在于，还包括液体保压装置，所述液体保压装置包括溢流管以及液封槽，所述液封槽内存储有液体，所述溢流管的一端与所述储液罐连接，所述溢流管的另一端伸入到所述液体内。
2.如权利要求1所述的液体存储装置，其特征在于，所述液封槽包括侧壁以及与所述侧壁连接的底壁。
3.如权利要求2所述的液体存储装置，其特征在于，所述液封槽的形状为圆桶形或方形。
4.如权利要求2所述的液体存储装置，其特征在于，所述液体保压装置还包括补液管路和排液管路，所述补液管路和排液管路均与液封槽的侧壁连接。
5.如权利要求4所述的液体存储装置，其特征在于，所述液封槽内存储的液体是去离子水。
6.如权利要求1至5中任意一项所述的液体存储装置，其特征在于，所述储液罐包括顶壁、底壁以及与所述顶壁和底壁连接的侧壁。
7.如权利要求6所述的液体存储装置，其特征在于，所述储液罐的形状为圆桶形或方形。
8.如权利要求6所述的液体存储装置，其特征在于，所述进液管路和出液管路均与所述储液罐的侧壁连接，所述进气管路与所述储液罐的顶壁连接。
9.如权利要求6所述的液体存储装置，其特征在于，所述溢流管的一端与所述储液罐的侧壁连接。
10.如权利要求1所述的液体存储装置，其特征在于，所述进液管路上设置有第一阀，所述出液管路上设置有第二阀，所述进气管路上设置有第三阀。
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