[实用新型]液体存储装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及集成电路制造领域，特别是涉及一种液体存储装置。

背景技术

在集成电路制造过程中，会涉及到多种液体，这些液体需要具有极高的纯度。例如，在进行蚀刻工艺时，需要使用氢氟酸、硫酸、盐酸、氨水等化学试剂；在进行化学机械研磨工艺时，需要使用研磨液、柠檬酸清洗液等化学试剂。这些液体通常经液体存储装置输送至各个机台。

具体请参考图1，其为现有的液体存储装置的示意图。如图1所示，现有的液体存储装置100通常包括：储液罐110、进液管路120、出液管路130、进气管路140、泄压管路150、设置在泄压管路150上的压力释放阀151、真空破坏管路160、以及设置在真空破坏管路160上的真空破坏阀161，所述进液管路120、出液管路130以及进气管路140均与所述储液罐110连接。

所述进液管路120用于向储液罐110内供应工艺生产所需的液体(如各种化学试剂)，存储在储液罐110内的液体则通过出液管路130输送至各个机台。所述进气管路140用于向储液罐110内供应高纯度的气体，以防止所述储液罐110内的液体与空气接触，避免这些液体吸收空气中的水分或与空气发生反应而变质。当所述进液管路120快速的向储液罐110内供应液体时，所述储液罐110内的液面急剧上升，所述储液罐110内的高纯气体被压缩，储液罐110内的压力变大，所述压力释放阀151会自动打开，以防止储液罐110内的压力超过预定值，当储液罐110内的压力恢复正常时，所述压力释放阀151自动关闭，阻止储液罐110内的压力继续释放。一旦所述储液罐110内的液面急剧下降，而导致所述储液罐110内的压力低于预定值时，所述真空破坏阀161会自动打开，经所述真空破坏管路160向所述储液罐110内补充气体，以确保液体存储装置100的安全。

然而，在实际生产中发现，现有的液体存储装置100具有以下几个缺点：首先，由于所述压力释放阀151和真空破坏阀161是机械连锁装置，当使用一段时间后，所述压力释放阀151和真空破坏阀161易发生机械故障，进而出现机械动作不灵敏的情况，导致所述储液罐110内的压力不稳定，损坏所述储液罐110，影响工艺生产的顺利进行；并且，所述压力释放阀151和真空破坏阀161的价格昂贵，不利于降低生产成本。

实用新型内容

本实用新型的目的在于，提供一种液体存储装置，以解决现有的液体存储装置的压力释放阀和真空破坏阀极易发生机械故障，而导致储液罐内压力不稳定的问题，并可节约生产成本。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种液体存储装置，包括：储液罐、进液管路、出液管路以及进气管路，所述进液管路、出液管路以及进气管路均与所述储液罐连接，其特征在于，还包括液体保压装置，所述液体保压装置包括溢流管以及液封槽，所述液封槽内存储有液体，所述溢流管的一端与所述储液罐连接，所述溢流管的另一端伸入到所述液体内。

可选的，在所述液体存储装置中，所述液封槽包括侧壁以及与所述侧壁连接的底壁。所述液封槽的形状为圆桶形或方形。

可选的，在所述液体存储装置中，所述液体保压装置还包括补液管路和排液管路，所述补液管路和排液管路与所述液封槽的侧壁连接。

可选的，在所述液体存储装置中，所述液封槽内存储的液体是去离子水。

可选的，在所述液体存储装置中，所述储液罐包括顶壁、底壁以及与所述顶壁和底壁连接的侧壁。所述储液罐的形状为圆桶形或方形。

可选的，在所述液体存储装置中，所述进液管路和出液管路与所述储液罐的侧壁连接，所述进气管路与所述储液罐的顶壁连接。

可选的，在所述液体存储装置中，所述溢流管的一端与储液罐的侧壁连接。

可选的，在所述液体存储装置中，所述进液管路上设置有第一阀，所述出液管路上设置有第二阀，所述进气管路上设置有第三阀。

与现有技术相比，本实用新型提供的液体存储装置利用液体保压装置代替传统的压力释放阀和真空破坏阀，当储液罐内的压力超过预定值时，所述储液罐内的压力会经所述液体保压装置的溢流管释放到空气中；当储液罐内的压力低于预定值时，所述溢流管会倒吸液封槽内的液体，防止由于储液罐内出现真空而损坏储液罐。由于所述液体保压装置未使用机械连锁装置，不会由于机械故障导致液封失效，可确保所述储液罐内的压力值恒定，从而确保液体存储装置的安全；并且，所述液体保压装置结构简单，有利于降低生产成本。

附图说明

图1为现有的液体存储装置的示意图；

图2为本实用新型实施例提供的液体存储装置的示意图。

具体实施方式