[实用新型]一种离子注入机台离子源的校准装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种校准装置，特别涉及离子注入机台离子源的校准装置。

背景技术

离子注入机台中，离子源的作用十分重要。通过离子源内部的灯丝和阴极产生离子打到晶圆上，在性能维护周期内对离子源进行组装时，考虑到离子源内部的一些组件耗损的原因需要更换，如灯丝、阴极、绝缘体等。而离子源组装的好坏影响离子注入机台的性能维护是否成功，其中包括：灯丝与阴极的位置，位置过近会导致很难产生电磁弧，位置过远会导致灯丝与阴极的使用寿命缩短，以至缩短性能维护的时间；支撑灯丝与阴极的夹钳与绝缘材料的固定位置，虽然夹钳与绝缘材料是紧密结合的，但是有的组件在使用过程中会产生误差，导致夹钳的位置出现偏差与其他组件连接，使灯丝与阴极短路。在组装过程中，为避免问题发生，需检验多次还很难保证准确率的提高。

现有的组装方法中使用手动安装夹板与绝缘材料，人眼确认位置是否正确，三根夹板是否平行，在很大程度上降低了组装的准确度。在安装灯丝与阴极的过程中，手动使用工具撑开夹钳，把灯丝与阴极安装到夹钳上。因为为确保夹钳可以夹紧灯丝与阴极，夹钳的紧密度很高，撑开夹钳需要很大的作用力，在这过程中会导致夹钳与绝缘材料的位置发生变化。在调整灯丝与阴极的位置关系的时候需要撑开夹钳，在这过程中也会导致夹钳与绝缘材料的位置发生变化以及灯丝与阴极的位置发生变化。

实用新型内容

本实用新型是为解决手动撑开夹钳安装灯丝与阴极，导致组件之间位置发生变化的缺陷，其目的在于提出一种离子注入机台离子源的校准装置。

该离子注入机台离子源的校准装置，包括底座、位于该底座上并与底座一体成型的基板，该基板的表面具有相互平行的第一凹槽、第二凹槽、第三凹槽，并在该第一凹槽的反面安装第一齿轮、该第二凹槽的反面安装带有摇杆的第二齿轮以及第四齿轮、该第三凹槽的反面安装第三齿轮；第一齿轮、第二齿轮、第三齿轮安装在滚动带内，并且该第二齿轮位于第一齿轮与第三齿轮之间，该第四齿轮与第二齿轮衔接匹配。

优选地，第一凹槽、第二凹槽、第三凹槽与底座垂直。

优选地，第一凹槽、第二凹槽、第三凹槽与离子注入机台的夹钳的规格大小相互匹配。

优选地，该基板是矩形体。

优选地，该基板是塑钢材料。

优选地，第一凹槽、第二凹槽、第三凹槽所处的基板面内留有与紧靠夹钳的绝缘板规格大小相匹配的空间。

优选地，该第四齿轮离所在基板面的距离大于第一齿轮或第三齿轮离所在基板面的距离。

优选地，该第二齿轮通过摇杆控制与所在基板面的距离。

优选地，远离底座的三个凹槽端分别设置与夹钳夹口大小规格匹配的第一连接块、第二连接块、第三连接块，并且该第一连接块、第二连接块、第三连接块穿过基板分别固定在第一齿轮、第四齿轮、第三齿轮的轴内。

优选地，该连接块是钢块。

优选地，该连接块是长方体。

本实用新型采用的离子注入机台离子源的校准装置，在安装离子注入机台离子源的灯丝和阴极的时候，使用摇杆对三根夹钳进行撑托，调节摇杆可以选择性的对灯丝还是阴极进行撑托，使得在安装阴极的同时不会对灯丝造成影响。

进一步地，凹槽与夹钳的规格大小相互匹配，该离子注入机台离子源的校准装置提供的凹槽用于安置夹钳，确保夹钳的位置不发生偏移，并且确保夹钳互相平行。对夹钳进行的操作不会对夹钳造成位置的偏移，也不会使灯丝和阴极的位置发生变化。进一步地，凹槽所处的基板面内留有与紧靠夹钳的绝缘板规格大小相匹配的空间。绝缘板固定在该空间，夹钳与绝缘板之间紧密结合，确保夹钳与绝缘板之间不发生偏移。

附图说明

在参照附图阅读了本实用新型的具体实施方式以后，将会更清楚地了解本发明的各个方面。其中，

图1a为离子注入机台离子源的校准装置正面结构示意图；

图1b为离子注入机台离子源的校准装置反面结构示意图；

图2为离子注入机台的夹钳以及与夹钳连接的绝缘材料的结构示意图；

图3a为第一齿轮、第二齿轮、第三齿轮位于滚动带内的结构示意图；

图3b为第二齿轮与第四齿轮衔接的结构示意图；以及

图4为使用离子注入机台离子源的校准装置前后对五台机台测试情况的表格示意图。

具体实施方式

下面参照附图，对本实用新型的具体实施方式作进一步的详细描述。在整个描述中，相同的附图标记表示相同的部件。

本实用新型提出的离子注入机台离子源的校准装置，能够避免手动撑开夹钳带来组件之间位置的变化。