[实用新型]一种氮化硅烧成炉无效
| 申请号： | 201020270394.X | 申请日： | 2010-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN201762104U | 公开（公告）日： | 2011-03-16 |
| 发明（设计）人： | 章体 | 申请（专利权）人： | 章体 |
| 主分类号： | C01B21/068 | 分类号： | C01B21/068 |
| 代理公司： | 杭州华鼎知识产权代理事务所(普通合伙) 33217 | 代理人： | 胡根良 |
| 地址： | 313104 浙江省长兴县*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 氮化 烧成 | ||
【权利要求书】：
1.一种氮化硅烧成炉，包括炉膛(1)、设在炉膛顶端的封盖(2)和包裹炉膛的炉壁(3)，在炉膛与炉壁之间设有保温层(4)，在炉膛内设有加热棒(5)，其特征在于：所述炉壁包括内层壁(31)和外层壁(32)，在内层壁和外层壁之间设有水冷套(6)，水冷套上接有进水管和出水管。
2.根据权利要求1所述的一种氮化硅烧成炉，其特征在于：所述炉膛由至少三个浇铸体(11)上下叠加而成。
3.根据权利要求2所述的一种氮化硅烧成炉，其特征在于：所述浇铸体为中空圆柱体。
4.根据权利要求3所述的一种氮化硅烧成炉，其特征在于：所述浇铸体采用刚玉材料整体浇铸。
5.根据权利要求1所述的一种氮化硅烧成炉，其特征在于：所述封盖的下表面设有插装固定加热棒的插装槽(21)。
6.根据权利要求1或5所述的一种氮化硅烧成炉，其特征在于：所述加热棒为硅钼棒。
7.根据权利要求1所述的一种氮化硅烧成炉，其特征在于：所述进水管接在水冷套的下端，出水管接在水冷套的上端。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于章体，未经章体许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201020270394.X/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：无极紫外线杀菌设备
- 下一篇：锰氧化物纳米空心十四面体及其制备方法
