[实用新型]一种氮化硅烧成炉

说明书

技术领域

本实用新型涉及氮化硅生产设备，特别是一种氮化硅烧成炉。

背景技术

氮化硅烧成炉用于在通入氮气、氩气、氢气的状态下把硅石烧制成氮化硅粉末，传统的氮化硅烧成炉炉壁采用单层钢材焊接而成，在产品烧成结束后，产品在密封的炉子内靠自然降温方式从1460℃降至室温然后出料，这个降温过程耗时长，使得炉子的生产效率低，同时由于硅石烧成需达到1460℃高温，传统的耐热炉膛一般采用莫来砖或刚玉砖砌筑成形，这类砌筑方式的缺点是在高温下砖体会出现局部膨胀并吸收保护气体，导致耗气量大。

实用新型内容

本实用新型所要解决的问题就是提供一种氮化硅烧成炉，在氮化硅粉末烧成结束后实现炉体快速降温，炉膛致密性好，高温条件下不会出现膨胀，节省耗气量，提高生产效率，降低生产成本。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：一种氮化硅烧成炉，包括炉膛、设在炉膛顶端的封盖和包裹炉膛的炉壁，在炉膛与炉壁之间设有保温层，在炉膛内设有加热棒，其特征在于：所述炉壁包括内层壁和外层壁，在内层壁和外层壁之间设有水冷套，水冷套上接有进水管和出水管。

进一步的，所述炉膛由至少三个浇铸体上下叠加而成。增加致密性。

进一步的，所述浇铸体为中空圆柱体。

进一步的，所述浇铸体采用刚玉材料整体浇铸。高温膨胀率低。

进一步的，所述封盖的下表面设有插装固定加热棒的插装槽。

进一步的，所述加热棒为硅钼棒。

进一步的，所述进水管接在水冷套的下端，出水管接在水冷套的上端。充分利用冷热水对流，加快冷却速度，加强冷却效率。

采用上述技术方案后，本实用新型具有如下优点：采用水冷套降温方式，可以大大加快氮化硅粉末烧成后的降温速度，提高工作效率，三段式刚玉整体浇注成形的炉膛致密性好，高温条件下膨胀率低，不吸收气体，降低生产成本。

附图说明

下面结合附图对本实用新型作进一步说明：

图1为本实用新型一种实施例的结构示意图；

图2为图1中A处截面仰视图。

具体实施方式

如图1至2所示本实用新型一种实施例的结构示意图，一种氮化硅烧成炉，包括炉膛1、设在炉膛顶端的封盖2和包裹炉膛的炉壁3，在炉膛与炉壁之间设有保温层4，在炉膛内设有加热棒5，封盖的下表面设有插装固定加热棒的插装槽21，加热棒5从下往上插装在插装槽中，炉壁包括内层壁31和外层壁32，在内层壁和外层壁之间设有水冷套6，水冷套上接有进水管和出水管。炉膛由三个浇铸体11上下叠加而成，浇铸体采用刚玉材料整体浇铸成中空的圆柱体，当然炉膛可以用四个或四个以上浇铸体叠加，但致密性和高温膨胀率会相应发生变化，达不到最佳效果。

上述实施例中，炉壁为耐高温钢板焊接而成，通过水冷套能上下对流形成水循环，供氮化硅粉末烧成结束后炉壁迅速降温，保温层采用耐高温保温材料，三段式刚玉整体浇注成形的炉膛具有致密性好，高温条件下膨胀率低，不吸收气体的优点；加热棒为硅钼棒；进水管接在水冷套的下端，出水管接在水冷套的上端，充分利用冷热水对流，加快冷却速度，加强冷却效率。