[实用新型]化学镀治具

权利要求书

1.一种化学镀治具，包括基座、浸液组件及套筒，其特征在于：

该基座下方设有连接座；

该浸液组件为设有环状底座，并于环状底座与基座连接座之间设有三个或三个以上的柱体，且于二个或二个以上柱体相对内侧分别凹设有5个～20个供晶片周缘卡固的三角状定位槽；

该套筒内为形成有收纳浸液组件的容置空间，且套筒上、下方分别形成有供容置空间连通外部的第一开口、第二开口，套筒并于第一开口处设有连接基座下方连接座的连接部。

2.根据权利要求1所述的化学镀治具，其特征在于，该基座于连接座底面设有三个或三个以上呈等分排列的定位部，浸液组件的环状底座上设有三个或三个以上呈等分排列的固接部，浸液组件的各柱体于上、下方分别设有与基座各定位部及环状底座各固接部固接的固定部。

3.根据权利要求2所述的化学镀治具，其特征在于，该基座设有三个或三个以上贯穿连通至连接座底面的穿孔状定位部，浸液组件所设三个或三个以上的柱体于二侧设有柱状固定部，柱状固定部内凹设有具内螺纹的固定孔，并于穿孔状定位部内穿设定位组件以锁固于柱状固定部的固定孔，而各柱体另侧的环状底座则可利用穿孔状固接部内穿设的固定组件直接锁固于柱状固定部的固定孔。

4.根据权利要求3所述的化学镀治具，其特征在于，该浸液组件的环状底座、各柱体及各固定组件为聚醚醚酮、聚酰亚胺、聚酰胺-酰亚胺、聚醚酰亚胺、聚醚砜、聚苯硫醚或聚缩醛材质所制成。

5.根据权利要求2所述的化学镀治具，其特征在于，该基座设有三个或三个以上贯穿连通至连接座底面的穿孔状定位部，浸液组件所设三个或三个以上的柱体，于各柱体一侧设有具内螺纹固定孔的柱状固定部，各柱体另侧则直接凹设有具内螺纹的孔状固定部，并于穿孔状定位部内穿设定位组件以锁固于柱状固定部的固定孔，各柱体另侧的环状底座直接凸设有具外螺纹以供孔状固定部锁固的柱状固接部。

6.根据权利要求1所述的化学镀治具，其特征在于，该浸液组件各柱体的较佳实施方式为具有8～15个定位槽，各定位槽为由水平线朝上、下呈预定角度倾斜，且定位槽的角度为40°～80°。

7.根据权利要求1所述的化学镀治具，其特征在于，该套筒外侧壁邻近第一开口处穿设有连通至容置空间的多个通孔。

8.根据权利要求1所述的化学镀治具，其特征在于，该套筒为聚醚醚酮、聚酰亚胺、聚酰胺-酰亚胺、聚醚酰亚胺、聚醚砜、聚苯硫醚、聚缩醛、聚丙烯或聚乙烯材质所制成。

9.根据权利要求1所述的化学镀治具，其特征在于，该基座于顶面中央处或于侧壁处设有提把。

10.根据权利要求1所述的化学镀治具，其特征在于，该套筒于第一开口处的内侧壁面或外侧壁面设有连接基座下方连接座的连接部，且连接部为内螺纹或外螺纹。