[实用新型]出入料基板移送夹护装置

权利要求书

1.一种用于基板电镀的移载器的出入料基板移送夹护装置，其特征在于：它包括基板挂架、承托基板挂架的挂架轨道和基板挂架的驱动机构，所述的挂架轨道和驱动机构均安装在移载器的架体上，基板挂架具有夹持基板的夹持部件，基板挂架与驱动机构相连，在驱动机构带动下沿挂架轨道移动。

2.根据权利要求1所述的出入料基板移送夹护装置，其特征在于：所述的基板挂架包括主体和位于主体下部的夹持部件，其中主体的上部开有与挂架轨道适配的挂槽，通过挂槽挂在挂架轨道上，主体的顶端竖向设有夹持板，所述夹持板与驱动机构相连。

3.根据权利要求2所述的出入料基板移送夹护装置，其特征在于：所述的夹持部件为多个夹子。

4.根据权利要求2所述的出入料基板移送夹护装置，其特征在于：所述的驱动机构为线性马达，线性马达安装在机架上，线性马达具有线性轴，该线性轴的一端具有U型夹持部，所述U型夹持部夹持基板挂架的夹持板，所述线性马达通过U型夹持部带动基板挂架沿挂架轨道移动。

5.根据权利要求1至4任一项所述的出入料基板移送夹护装置，其特征在于：所述的出入料基板移送夹护装置还包括用于夹持基板的夹板装置、用于驱动夹板装置张开和闭合的张合机构，所述的张合机构安装在架体上，夹板装置与张合机构相连，在张合机构驱动下动作。

6.根据权利要求5所述的出入料基板移送夹护装置，其特征在于：所述的张合机构包括气缸、Y形接肘和夹板，气缸竖向安装在架体上，气缸的活塞与Y形接肘固定相连，活塞上下移动中带动Y形接肘同步上下移动，所述的夹板为一对板，分别为前夹板和后夹板，前夹板和后夹板分别位于基板的两侧，并且在合拢时能够夹住基板，前夹板和后夹板均通过连接传动单元与Y形接肘连接，在Y形接肘驱动下能够打开或合拢。

7.根据权利要求6所述的出入料基板移送夹护装置，其特征在于：所述的连接传动单元包括端板、夹板连接轴和夹板连接构件，夹板连接轴固定安装在机架上，端板的一端与Y形接肘铰接，另一端与夹板连接构件的一端相连，并且能够联动，端板与夹板连接构件相连的连接处铰接在夹板连接轴上，夹板连接构件的另一端分别与夹板固定连接。

8.根据权利要求7所述的出入料基板移送夹护装置，其特征在于：所述张合机构还包括用于限制连接构件张开角度的调节构件，所述调节构件包括挡块和移动件，移动件安装在位于挡块同一侧的夹板连接构件上，挡块安装在机架与移动件运动轨迹的交点处。