[实用新型]无漂移的高精度开式静压导轨

权利要求书

1.一种无漂移的高精度开式静压导轨，包括浮动导轨(1)和支撑导轨(2)，其特征是：所述的浮动导轨(1)放置在所述的支撑导轨(2)上；所述的浮动导轨(1)与支撑导轨(2)的接触面上开有静压油腔(6)和负压腔(7)；所述的静压油腔(6)通过节流器(5)与供油系统(9)连通；所述的负压腔(7)和真空泵(4)连通；所述的真空泵(4)通过油气分离装置与所述的供油系统(9)连通；所述的浮动导轨(1)和支撑导轨(2)之间开有和所述的供油系统(9)相通的回油槽。

2.如权利要求1所述的无漂移的高精度开式静压导轨，其特征是：所述的回油槽由开在所述的浮动导轨(1)表面的横向回油槽(8)和开在所述的支撑导轨(2)上的纵向回油槽(3)组成。

3.如权利要求1或2所述的无漂移的高精度开式静压导轨，其特征是：所述的静压油腔(6)和负压腔(7)在所述的浮动导轨(1)的表面一对一间隔布置。

4.如权利要求3所述的无漂移的高精度开式静压导轨，其特征是：所述的真空泵(4)为射流式真空泵。

5.如权利要求4所述的无漂移的高精度开式静压导轨，其特征是：所述的浮动导轨(1)为“V”形导轨，所述的静压油腔(6)和负压腔(7)在“V”的两个平面上对称布置。