[实用新型]旋涂装置

权利要求书

1.一种旋涂装置，用以将一涂料均匀形成在一工件的表面上，其特征在于：该旋涂装置包括：一喷涂装置、一旋转装置、一控制器、一成膜硬化装置及一回风冷凝系统，其中该喷涂装置设置于能够喷涂至该工件的距离范围之内，用以喷涂该涂料于该工件的整体表面；该旋转装置包括：一固定架及一旋转轴，其中该固定架包含有一真空吸嘴，用于固定该工件；该旋转轴用以支撑该固定架，并对该固定架上的该工件作轴向旋转以产生一离心力，利用该离心力将该涂料均匀地涂布在该工件表面上，并且借助该离心力甩除多余的该涂料；该控制器用以控制该旋转轴的若干个段转速，并且控制该喷涂装置的一喷射量；该成膜硬化装置用于将该涂料硬化；以及该回风冷凝系统用于将多余甩出的涂料回收。

2.如权利要求1所述的旋涂装置，其特征在于：该工件置于一真空室内作旋涂，该真空室的真空范围介于0.1巴至100巴之间。

3.如权利要求2所述的旋涂装置，其特征在于：该真空室使用高效过滤器作过滤，使得该真空室达到介于级数1000至100000之间的无尘等级环境。

4.如权利要求1所述的旋涂装置，其特征在于：该工件上方设置一扰流板，以改变气流方向。

5.如权利要求1所述的旋涂装置，其特征在于：该工件内部设计一气流回流孔，以减少扰流纹。

6.如权利要求1所述的旋涂装置，其特征在于：该喷涂装置为若干支气体喷枪，以由不同方向做喷涂。

7.如权利要求1所述的旋涂装置，其特征在于：该固定架具有若干个夹具，用以固定该工件。

8.如权利要求7所述的旋涂装置，其特征在于：这些夹具利用凸起缘干涉方式固定工件。

9.如权利要求1所述的旋涂装置，其特征在于：该工件的外形为非中心对称，该固定架与该工件利用一动平衡校正机校正两者的重心。

10.如权利要求9所述的旋涂装置，其特征在于：这些段转速具有一低转速，该低转速介于每分钟30转至每分钟500转，用以甩除多余涂料或通过旋转达到平均喷涂的目的。 

11.如权利要求9所述的旋涂装置，其特征在于：该控制器控制该旋转轴的这些段转速还有以至少一高转速转动，这些转速介于为每分钟500转至每分钟10000转。

12.如权利要求9所述的旋涂装置，其特征在于：该工件为平面工件，且该平面工件的一平面的尺寸大于20公分以上时，该喷涂装置喷涂该平面的内圈以及外圈以形成膜厚差异，并配合该旋转轴的转速控制形成内外圈均匀膜厚。

13.如权利要求1所述的旋涂装置，其特征在于：该工件为立体工件。

14.如权利要求1所述的旋涂装置，其特征在于：该成膜硬化装置还包含若干个反射镜，用于将一紫外线设备发出的紫外线均匀照射于该工件。

15.如权利要求1所述的旋涂装置，其特征在于：该工件的整体表面为不规则曲面或是规则曲面。