[实用新型]触摸屏ITO薄膜激光刻蚀设备有效
| 申请号： | 201020302494.6 | 申请日： | 2010-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN201760706U | 公开（公告）日： | 2011-03-16 |
| 发明（设计）人： | 陈刚;任清荣 | 申请（专利权）人： | 武汉吉事达激光技术有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/36 | 分类号： | B23K26/36;B23K26/42;B23K26/04;B23K26/08;H01L21/302 |
| 代理公司： | 武汉帅丞知识产权代理有限公司 42220 | 代理人： | 朱必武;程玉轩 |
| 地址： | 430071 湖北省武汉*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 触摸屏 ito 薄膜 激光 刻蚀 设备 | ||
1.触摸屏ITO薄膜激光刻蚀设备，包括机架、控制系统、显示系统、激光发生器、升降机构和吸附平台，控制系统、显示系统、升降机构和吸附平台都安装在机架上，激光发生器安装在升降机构上，其特征在于：还包括二维振镜头和F-θ透镜组，二维振镜头安装在升降机构的升降架上，F-θ透镜组安装在二维振镜头下部。
2.根据权利要求1所述的触摸屏ITO薄膜激光刻蚀设备，其特征在于：升降机构包括电动机、蜗轮蜗杆减速机、丝杆运动副、直线导轨运动副和升降架，电动机的输出轴与蜗轮蜗杆减速机的输入轴联接，蜗轮蜗杆减速机的输出轴与丝杆运动副的丝杆联接，丝杆运动副的螺帽与升降架联接，直线导轨运动副的导轨安装在与机架相联的联接板上，直线导轨运动副的滑块与升降架相联接。
3.根据权利要求1所述的触摸屏ITO薄膜激光刻蚀设备，其特征在于：升降机构包括手轮、蜗轮蜗杆减速机、丝杆运动副、直线导轨运动副和升降架，手轮与蜗轮蜗杆减速机的输入轴联接，蜗轮蜗杆减速机的输出轴与丝杆运动副的丝杆联接，丝杆运动副的螺帽与升降架联接，直线导轨运动副的导轨安装在与机架相联的联接板上，直线导轨运动副的滑块与升降架相联接。
4.根据权利要求1、权利要求2或权利要求3所述的触摸屏ITO薄膜激光刻蚀设备，其特征在于：还包括二维运动系统，二维运动系统由X轴运动系统和Y轴运动系统组成，X轴运动系统安装在Y轴运动系统上，X轴运动系统和Y轴运动系统呈交叉十字状，二维运动系统安装在机架上，吸附平台安装在二维运动系统上。
5.根据权利要求1所述的触摸屏ITO薄膜激光刻蚀设备，其特征在于：激光发生器发出的激光波长为266nm。
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