[实用新型]射频检测装置

权利要求书

1.一种射频检测装置，包括射频感应线圈，所述射频感应线圈的输入端与射频发生器连接，所述射频感应线圈的输出端连接至反应腔室的喷头，其特征在于，所述射频检测装置还包括控制器、信号读取器以及线路闸门系统，所述控制器分别与所述射频发生器、所述信号读取器连接，所述线路闸门系统位于射频感应线圈的一侧并连接至所述信号读取器。

2.根据权利要求1所述的射频检测装置，其特征在于，所述线路门闸系统包括第一磁铁、第二磁铁、连接杆、活动元件以及固定元件，所述连接杆的一端与所述第一磁铁连接，所述连接杆的另一端与所述活动元件连接，所述固定元件与所述第二磁铁连接，并且所述活动元件和所述固定元件分别连接至所述信号读取器。

3.根据权利要求2所述的射频检测装置，其特征在于，所述射频感应线圈的输入端靠近所述线路闸门系统，所述第一磁铁与所述第二磁铁相互靠近的磁极极性相同，并且所述磁极极性与所述输入端所感应的磁极极性相反。

4.根据权利要求2所述的射频检测装置，其特征在于，所述活动元件是转动轴。

5.根据权利要求1所述的射频检测装置，其特征在于，所述控制器通过信号线与所述射频发生器连接，所述控制器发送开启信号给所述射频发生器，并且所述射频发生器发送反馈信号给所述控制器。

6.根据权利要求1所述的射频检测装置，其特征在于，所述控制器通过信号线与所述信号读取器连接，所述信号读取器发送信号给所述控制器。