[实用新型]射频检测装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及微电子技术领域，特别涉及一种射频检测装置。

背景技术

输送射频功率至反应腔已经广泛应用于微电子技术领域，特别在半导体处理系统用以处理制造集成电路的半导体晶片，在蚀刻与氧化，及化学气相淀积(CVD)等中通常使用以等离子体为基础的半导体处理。以等离子体为基础的半导体处理典型上是由等离子体处理系统来进行，且通常会包括一个等离子体反应腔以提供一个受控的设定。而应用于等离子体反应腔上的射频功率源能将等离子体反应腔的等离子体维持在期望的离子密度水平。如果射频频率缺失，工艺流程将中断，并且会影响晶圆的厚度、折射率、浓度，射频发射器发射的射频电流在制程过程中显得尤为重要。因此，射频功率源需要得到控制和检测。

但是目前仅仅当射频发生器不能发送足够的射频能源时，报警器提醒工作人员检查射频发生系统。而在发送到反应腔前发生射频感应线圈短路时，没有相关的报警装置提醒工作人员检查射频发生状态，反应腔内的晶圆不能进行正常的工艺流程，甚至完全跳过化学气相淀积(CVD)这一过程进入下一流程而造成产品报废。

实用新型内容

本实用新型是为解决射频线圈在工作过程中容易短路的问题，其目的在于提出一种射频检测装置。

该射频检测装置包括射频感应线圈，该射频感应线圈的输入端与射频发生器连接，该射频感应线圈的输出端连接至反应腔室的喷头，该射频检测装置还包括控制器、信号读取器以及线路闸门系统，该控制器分别与射频发生器、信号读取器连接，该线路闸门系统位于射频感应线圈的一侧并连接至该信号读取器。

优选地，该线路门闸系统包括第一磁铁、第二磁铁、连接杆、活动元件以及固定元件，该连接杆的一端与第一磁铁连接，该连接杆的另一端与活动元件连接，该固定元件与第二磁铁连接，并且该活动元件和固定元件分别连接至该信号读取器。

优选地，该射频感应线圈的输入端靠近该线路闸门系统，该第一磁铁与第二磁铁相互靠近的磁极极性相同，并且该磁极极性与输入端所感应的磁极极性相反。

优选地，该活动元件是转动轴。

优选地，该控制器通过信号线与射频发生器连接，该控制器发送开启信号给射频发生器，并且该射频发生器发送反馈信号给控制器。

优选地，该控制器通过信号线与信号读取器连接，该信号读取器发送信号给控制器。

该射频检测装置，通过控制器接收到来自射频发生器以及信号读取器发出的信号，判断射频感应线圈是否短路，灵敏度高，具有较高的检测准确率。并且该射频检测装置简单、制造成本低，适合大规模投入使用。

附图说明

参照附图阅读了本实用新型的具体实施方式以后，将会更清楚地了解本实用新型的各个方面。其中，

图1为射频检测装置结构示意图。

具体实施方式

下面参照附图，对本实用新型的具体实施方式作进一步的详细描述。在整个描述中，相同的附图标记表示相同的部件。

本实用新型提供的射频检测装置，该装置利用磁极极性相互之间作用的原理，通过控制器接收到来自射频发生器以及信号读取器发出的信号，判断射频感应线圈是否短路，灵敏度高，具有较高的检测准确率。克服了射频线圈在工作过程中容易短路以致工艺流程中断的缺陷。

图1为射频检测装置结构示意图。参照图1，射频检测装置100包括射频感应线圈102，该射频感应线圈102的输入端与射频发生器101连接，该射频感应线圈102的输出端连接至反应腔室103的喷头104，该射频检测装置100还包括控制器105、信号读取器106以及线路闸门系统107，该控制器105分别与射频发生器101、信号读取器106连接，该线路闸门系统107位于射频感应线圈102的一侧并连接至该信号读取器106。

该控制器105通过信号线与射频发生器101连接，该控制器105发送开启信号给射频发生器101，并且该射频发生器101发送反馈信号给控制器105。

该控制器105通过信号线与信号读取器106连接，该信号读取器106发送信号给控制器105。

该线路门闸系统107包括第一磁铁108、第二磁铁109、连接杆110、活动元件111以及固定元件112，该连接杆110的一端与第一磁铁108连接，该连接杆110的另一端与活动元件111连接，该固定元件112与第二磁铁109连接，并且该活动元件111和固定元件112分别连接至该信号读取器106。该射频检测装置100简单、制造成本低，适合大规模投入使用。