[实用新型]真空磁控溅射镀膜机有效
| 申请号： | 201020539485.9 | 申请日： | 2010-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN201793725U | 公开（公告）日： | 2011-04-13 |
| 发明（设计）人： | 林锡强;陈孝田 | 申请（专利权）人： | 温州市佳能真空电镀设备科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 325000 浙江省温州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空 磁控溅射 镀膜 | ||
【权利要求书】：
1.真空磁控溅射镀膜机，包括真空抽气系统、真空室、真空室门、设置在真空室中的工件转架以及设置在真空室体上的磁控溅射装置，磁控溅射装置包括与真空室体固定连接的磁控靶法兰、与磁控靶法兰固定连接并置于真空室中的铁轭、磁铁、磁控靶阴极板、靶材，其特征在于：磁控溅射装置还包括冷水套、进水道座和出水道座，进水道座和出水道座与磁控靶法兰固定连接，冷水套固设在进水道座和出水道座的里端，铁轭、磁铁、磁控靶阴极板、靶材依次固定在冷水套上，在冷水套和磁控靶阴极板之间构成冷却水通道。
2.根据权利要求1所述的真空磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述的磁铁为若干条一字型间隔排列的条形永磁体。
3.根据权利要求1或2所述的真空磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述的磁控靶阴极板由不锈钢制成。
4.根据权利要求1或2所述的真空磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述的磁控靶法兰、冷水套、进水道座和出水道座由不锈钢制成。
5.根据权利要求1或2所述的真空磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述的真空抽气系统包括低真空抽气装置和高真空抽气装置。
6.根据权利要求5所述的真空磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述的低真空抽气装置包括罗茨真空泵和机械真空泵，高真空抽气装置包括维持真空泵和扩散真空泵。
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