[实用新型]太阳能电池PECVD镀膜机下料端风冷散热装置无效
| 申请号： | 201020548389.0 | 申请日： | 2010-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN201801591U | 公开（公告）日： | 2011-04-20 |
| 发明（设计）人： | 李锋 | 申请（专利权）人： | 常州天合光能有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/44 | 分类号： | C23C16/44;H01L31/18 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 王凌霄 |
| 地址： | 213031 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 太阳能电池 pecvd 镀膜 机下料端 风冷 散热 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种太阳能电池PECVD镀膜机下料端风冷散热装置，其特征是：包括固定支架(3)，铰接机构(4)和风扇(2)，所述的风扇(2)通过铰接机构(4)安装在固定支架(3)上，固定支架(3)安装在镀膜机下料端载车(1)的上方，铰接机构(4)为可扭转结构，风扇(2)的角度通过铰接机构(4)进行调节，使风扇(2)吹出的冷却风吹向镀膜机下料端载车(1)上的硅片。
2.根据权利要求1所述的太阳能电池PECVD镀膜机下料端风冷散热装置，其特征是：所述的风扇(2)的数量与镀膜机下料端载车(1)的列数相同，每一风扇(2)的布置位置与镀膜机下料端载车(1)的每一列一一对应。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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