[实用新型]太阳能电池PECVD镀膜机下料端风冷散热装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及晶体硅太阳能电池PECVD镀膜设备技术领域，特别是一种太阳能电池PECVD镀膜机下料端风冷散热装置。

背景技术

现有OTB公司的等离子体增强化学气相沉积设备DEPx2400仅有LLO型具有冷却硅片的作用，但传出的硅片温度依然较高，约200℃，不能有效地冷却硅片，而温度较高的硅片会引起的一系列设备及工艺问题，如设备当机、碎片和电池片外观等。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种太阳能电池PECVD镀膜机下料端风冷散热装置，可以及时冷却的硅片。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种太阳能电池PECVD镀膜机下料端风冷散热装置，包括固定支架，铰接机构和风扇，风扇通过铰接机构安装在固定支架上，固定支架安装在镀膜机下料端载车的上方，风扇的角度通过铰接机构进行调节，使风扇吹出的冷却风吹向下料端上的硅片。

风扇的数量与镀膜机下料端载车的列数相同，风扇的布置位置与镀膜机下料端载车的每一列对应。

本实用新型的有益效果是：在下料端安装本风冷散热装置，调整好风向和大小，能有效地冷却镀膜硅片，防止硅片温度较高导致抓手异常，造成设备报警当机和热应力导致碎片发生。同时，薄膜温度高，相对较软且易于划伤，而充分冷却的薄膜较硬，有利于减少划伤引起的不良，提高工序良率，从而有效降低制造成本和提升电池的品质质量。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明；

图1是本实用新型的结构示意图。

其中：1.镀膜机下料端载车，2.风扇，3.固定支架，4.铰接机构。

具体实施方式

现在结合附图1对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。

一种太阳能电池PECVD镀膜机下料端风冷散热装置，包括固定支架3，铰接机构4和风扇2，利用现有机台下料端钢架结构，选好位置和角度，角度一般选择80～60°，然后预安装风扇2、链接机构4和固定支架3，风扇1选取可变速轴流风扇，固定支架3和链接机构4选用不锈钢材，固定支架3两侧钻孔并用螺丝固定在机台钢架上，位于镀膜机下料端载车1的上方，镀膜机下料端载车1有三列，风扇2的数量与镀膜机下料端载车1的列数相同，风扇固定位置对应镀膜机下料端载车1的三列。在机台实际运行过程中，调整风扇1的角度，使得冷却风吹向硅片，但又不至于将抓手上的硅片吹掉。为了更好的实现该设计的目的，定期对风扇1进行清理和加固，防止风扇1中异物掉落到硅片表面影响电池片的质量，同时杜绝一些安全隐患造成的严重损失。铰接机构4为可扭转结构，风扇2的角度通过铰接机构4进行调节。在下料端可安装两个本风冷散热装置。