[实用新型]基板湿制程剥膜废料处理装置

权利要求书

1.一种基板湿制程剥膜废料处理装置，其包括一槽体、多个第一支撑组件、多个第二支撑组件、一过滤架、一震动马达、一输送管及一螺杆，其特征在于：

所述第一、第二支撑组件分别设于所述槽体的两相对内壁面上，第一支撑组件顶部的支撑点的高度位置高于所述第二支撑组件顶部的支撑点的高度位置；

所述过滤架的两相对侧分别架设于所述槽体两侧的第一、第二支撑组件上，所述过滤架朝向第二支撑组件方向呈向下倾斜状；

所述震动马达架设并固定于所述过滤架上；

所述输送管为一断面为弧形的半管体，其垂直于所述过滤架而架设在所述槽体的另外两相对内壁面上，位于靠近所述第二支撑组件的一侧以及所述过滤架底部，所述输送管的一输出端进一步突伸至所述槽体外侧；

所述螺杆可转动地架设于所述槽体上，且沿轴向穿设于所述输送管中，所述螺杆的外环壁上环绕成型有一螺旋刀。

2.如权利要求1所述的基板湿制程剥膜废料处理装置，其特征在于：所述螺杆的杆体由细渐粗，所述螺杆的螺旋刀的螺牙牙距从杆体较细的一端朝杆体较粗的一端由大渐小，且所述螺杆的杆体较粗且螺旋刀的螺牙牙距较小的一端对应所述输送管的输出端。

3.如权利要求1所述的基板湿制程剥膜废料处理装置，其特征在于：在所述第一、第二支撑组件中，每一支撑组件包含一承架及一弹性件，所述承架固设于所述槽体的内壁面上，所述弹性件设于所述承架上。

4.如权利要求2所述的基板湿制程剥膜废料处理装置，其特征在于：在所述第一、第二支撑组件中，每一支撑组件包含一承架及一弹性件，所述承架固设于所述槽体的内壁面上，所述弹性件设于所述承架上。

5.如权利要求3所述的基板湿制程剥膜废料处理装置，其特征在于：所述过滤架包含一框体以及覆盖于所述框体上的一滤网，所述框体的一侧间隔设有多根延伸杆，所述延伸杆设于所述第二支撑组件的弹性件上。

6.如权利要求4所述的基板湿制程剥膜废料处理装置，其特征在于：所述过滤架包含一框体以及覆盖于所述框体上的一滤网，所述框体的一侧间隔设有多根延伸杆，所述延伸杆设于所述第二支撑组件的弹性件上。

7.如权利要求3至6中任一项所述的基板湿制程剥膜废料处理装置，其特征在于：所述第一、第二支撑组件的承架与弹性件之间进一步设有一缓冲垫。

8.如权利要求1至6中任一项所述的基板湿制程剥膜废料处理装置，其特征在于：在所述槽体旁侧对应所述输送管的输出端处进一步设有一收集筒。

9.如权利要求7所述的基板湿制程剥膜废料处理装置，其特征在于：在所述槽体旁侧对应所述输送管的输出端处进一步设有一收集筒。