[实用新型]蒸镀源喷嘴

权利要求书

1.一种蒸镀源喷嘴，包括主体，位于主体中的喷射源，位于主体上的长形的喷射板，所述喷射板上设有开口，开口控制主体中喷射源的出射范围，其特征在于，开口包括位于纵长方向两端的两个端部，和位于开口纵长方向中间位置的中心部，以及分别位于中心部和两个端部之间的两个过渡部，所述开口在中心部的宽度和在端部的宽度大于在过渡部的宽度。

2.如权利要求1中所述的蒸镀源喷嘴，其特征在于，所述开口具有垂直于纵长方向的中轴线，该中轴线为开口的对称轴。

3.如权利要求1中所述的蒸镀源喷嘴，其特征在于，所述开口由位于两个端部之间的菱形孔和位于端部和中心部的矩形孔叠合组成，所述菱形孔的最大宽度小于矩形孔的宽度。

4.如权利要求1中所述的蒸镀源喷嘴，其特征在于，所述开口由位于两个端部之间的矩形槽和位于端部和中心部的矩形孔叠合组成，所述两个端部之间的矩形槽的宽度小于位于端部和中心部的矩形孔的宽度。

5.如权利要求1中所述的蒸镀源喷嘴，其特征在于，所述开口由位于两个端部之间的菱形孔、位于端部的三角孔和位于中心部的矩形孔叠合组成，所述菱形孔的最大宽度小于端部的宽度。

6.如权利要求1中所述的蒸镀源喷嘴，其特征在于，所述开口由位于两个端部之间的菱形孔和位于两个端部的圆形孔叠合组成，所述菱形的宽度小于圆形的直径。

7.如权利要求6中所述的蒸镀源喷嘴，其特征在于，所述中心部还具有圆形孔。

8.如权利要求1中所述的蒸镀源喷嘴，其特征在于，所述开口由若干个间隔分布的圆形小孔组成，所述端部和中部的宽度方向上圆形小孔数量多于过渡部分的宽度方向上的小孔数量。

9.如权利要求1中所述的蒸镀源喷嘴，其特征在于，所述过渡部分由沿直线间隔分布的圆形小孔组成，所述端部和中心部为椭圆形孔，所述椭圆形孔的宽度大于圆形小孔的宽度。

10.如权利要求3至9的任一项中所述的蒸镀源喷嘴，其特征在于，所述过渡部分上还设有副开孔。