[实用新型]一种倾斜度测量器有效
申请号: | 201020564890.6 | 申请日: | 2010-10-16 |
公开(公告)号: | CN201844832U | 公开(公告)日: | 2011-05-25 |
发明(设计)人: | 王刚 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | G01C9/00 | 分类号: | G01C9/00;G01B5/24;G01B5/245 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 倾斜度 测量器 | ||
1.一种倾斜度测量器,其特征在于,包括:底座、测量杠杆、支撑盘和千分表;
所述测量杠杆包括支点、测量杆、支杆、传距轴以及移距量杆;所述支杆固定于所述支点上,两端可在所述支点的支撑作用下上下移动,所述支杆的一端连接所述测量杆,另一端连接所述传距轴的一端,所述传距轴的另一端为上窄下宽的锥形体;所述移距量杆包括内部形成腔室的套筒和杆体,所述杆体穿过所述套筒的腔室且其两端伸出所述套筒的两端之外,所述杆体的一端安装有滚珠,另一端连接千分表,所述套筒内设置有弹簧,支撑所述杆体上安装有滚珠的一端向所述套筒外部移动,紧挨于所述传距轴的锥形体上;所述测量杆包括内部形成腔室的套筒和杆体,所述杆体穿过所述套筒的腔室且其两端伸出所述套筒的两端之外,所述套筒固定于安装于所述支撑盘之上的支架上,所述杆体的一端安装有滚珠,另一端连接所述支杆,所述测量杆垂直于所述支杆;
所述支点固定于所述支撑盘之上;支撑盘的中心设置有第一腔体,所述支撑盘内还设置有第二腔体,所述第二腔体同所述第一腔体相通;所述传距轴置于所述第一腔体内,所述移距量杆置于所述第二腔体内,所述传距轴和所述移距量杆在所述第一腔体和第二腔体内可分别进行垂直运动和水平运动;
所述支撑盘固定于所述底座上。
2.如权利要求1所述的倾斜度测量器,其特征在于,所述支撑盘的底部具有贯通其两端的凹槽,所述底座上具有贯通其两端的凹块,所述凸块的形状、尺寸同所述凹槽相适应,所述凸块安装于凹槽中。
3.如权利要求1所述的倾斜度测量器,其特征在于,所述支撑盘包括上支撑盘和下支撑盘,所述上支撑盘和下支撑盘的中心设置有所述第一腔体,所述下支撑盘内设置有所述第二腔体,所述支点固定于所述上支撑盘之上;所述上支撑盘和下支撑盘之间设置有轴承;所述下支撑盘固定于所述底座上。
4.如权利要求3所述的倾斜度测量器,其特征在于,所述下支撑盘的底部具有贯通其两端的凹槽,所述底座上具有贯通其两端的凸块,所述凸块的形状、尺寸同所述凹槽相适应,所述凸块安装于凹槽中。
5.如权利要求3所述的倾斜度测量器,其特征在于,所述下支撑盘的底部具有贯通其两端的第一凹槽;所述底座包括上底座和下底座,所述上底座的一面具有贯通其两端的第一凸块,同该面相对的另一面具有第二凸块;所述上底座上,第一凸块垂直于第二凸块;所述第一凸块的形状、尺寸同所述第一凹槽相适应,所述第一凸块安装于所述第一凹槽中;所述下底座的一面具有贯通其两端的第二凹槽,其形状、尺寸同所述第二凸块相适应,所述第二凸块安装于所述第二凹槽中。
6.如权利要求2或4所述的倾斜度测量器,其特征在于,所述凸块为燕尾型凸块,所述凹槽为燕尾型凹槽。
7.如权利要求5所述的倾斜度测量器,其特征在于,所述第一凸块及所述第二凸块为燕尾型凸块,所述第一凹槽及所述第二凹槽为燕尾型凹槽。
8.如权利要求1至4中任一权利要求所述的倾斜度测量器,其特征在于,所述底座采用磁性材质制成。
9.如权利要求5所述的倾斜度测量器,其特征在于,所述下底座采用磁性材质制成。
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