[实用新型]一种倾斜度测量器

说明书

技术领域

本实用新型涉及测量器装置领域，特别涉及一种倾斜度测量器。

背景技术

硅片制造的很多工艺如热生长氧化物、离子注入后硅片表面的热退火、淀积膜、玻璃体回流及硅化物膜的形成等等均需要使用到高温炉设备。由于这些工艺与温度有密切关系，这就使高温炉在IC制造中成为非常关键的因素。

现有技术的高温炉中，连接点火器的石英管与连接工艺腔体的石英管通过法兰相连接。法兰连接的具体结构请参看图1。如图1所示，密封圈100放置于连接于点火器的石英管101上的法兰102及连接于工艺腔体的石英管103上的法兰104之间，将两个法兰对接，通过固定锁紧装置105将两个对接法兰紧密的固定在一起，从而使连接对于点火器的石英管101同连接于工艺腔体的石英管103连接在一起并不发生泄漏。

但现有技术中在将两个法兰对接在一起时，无法测量两个法兰在水平方向上是否处于同一轴线，也无法测量两个法兰在垂直方向上是否保持水平，因此当两个法兰对接存在高度差异或倾斜度差异时，对接后被固定锁紧的法兰即会因受力不均而发生破碎，造成石英管内的气体泄漏，最终导致高温炉停止工作而产生较大的损失。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种倾斜度测量器，可测量某一特定平面的水平度、垂直度或倾斜度的测量器。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种倾斜度测量器，包括：底座、测量杠杆、支撑盘和千分表；

所述测量杠杆包括支点、测量杆、支杆、传距轴以及移距量杆；所述支杆固定于所述支点上，两端可在所述支点的支撑作用下上下移动，所述支杆的一端连接所述测量杆，另一端连接所述传距轴的一端，所述传距轴的另一端为上窄下宽的锥形体；所述移距量杆包括内部形成腔室的套筒和杆体，所述杆体穿过所述套筒的腔室且其两端伸出所述套筒的两端之外，所述杆体的一端安装有滚珠，另一端连接千分表，所述套筒内设置有弹簧，支撑所述杆体上安装有滚珠的一端向所述套筒外部移动，紧挨于所述传距轴的锥形体上；所述测量杆包括内部形成腔室的套筒和杆体，所述杆体穿过所述套筒的腔室且其两端伸出所述套筒的两端之外，所述套筒固定于安装于所述支撑盘之上的支架上，所述杆体的一端安装有滚珠，另一端连接所述支杆，所述测量杆垂直于所述支杆；

所述支点固定于所述支撑盘之上；支撑盘的中心设置有第一腔体，所述支撑盘内还设置有第二腔体，所述第二腔体同所述第一腔体相通；所述传距轴置于所述第一腔体内，所述移距量杆置于所述第二腔体内，所述传距轴和所述移距量杆在所述第一腔体和第二腔体内可分别进行垂直运动和水平运动；

所述支撑盘固定于所述底座上。

可选的，所述支撑盘的底部具有贯通其两端的凹槽，所述底座上具有贯通其两端的凹块，所述凸块的形状、尺寸同所述凹槽相适应，所述凸块安装于凹槽中。

可选的，所述支撑盘包括上支撑盘和下支撑盘，所述上支撑盘和下支撑盘的中心设置有所述第一腔体，所述下支撑盘内设置有所述第二腔体，所述支点固定于所述上支撑盘之上；所述上支撑盘和下支撑盘之间设置有轴承；所述下支撑盘固定于所述底座上。

可选的，所述下支撑盘的底部具有贯通其两端的凹槽，所述底座上具有贯通其两端的凸块，所述凸块的形状、尺寸同所述凹槽相适应，所述凸块安装于凹槽中。

可选的，所述下支撑盘的底部具有贯通其两端的第一凹槽；所述底座包括上底座和下底座，所述上底座的一面具有贯通其两端的第一凸块，同该面相对的另一面具有第二凸块；所述上底座上，第一凸块垂直于第二凸块；所述第一凸块的形状、尺寸同所述第一凹槽相适应，所述第一凸块安装于所述第一凹槽中；所述下底座的一面具有贯通其两端的第二凹槽，其形状、尺寸同所述第二凸块相适应，所述第二凸块安装于所述第二凹槽中。

可选的，所述凸块为燕尾型凸块，所述凹槽为燕尾型凹槽。

可选的，所述第一凸块及所述第二凸块为燕尾型凸块，所述第一凹槽及所述第二凹槽为燕尾型凹槽。

可选的，所述底座采用磁性材质制成。

可选的，所述下底座采用磁性材质制成。

使用本实用新型的倾斜度测量器可精确测量特定装置的水平度、垂直度或倾斜度，且使用方便。特别是使用在高温炉中时，可精确测量连接点火器的石英管上的法兰与连接工艺腔体的石英管上的法兰之间是否对准，从而可有效提高安装精确度，改善安全性能，增加石英管寿命，同时也可节省调节安装的时间。

附图说明

图1为现有技术的法兰连接结构示意图；

图2为本实用新型的倾斜度测量器的剖面结构示意图。

具体实施方式