[实用新型]开关系统

权利要求书

1.一种开关系统，用于开启与关闭前开式晶圆盒的门，其特征在于，包括：控制器、承载台、传送装置、以及开关装置；其中，所述承载台用以承载前开式晶圆盒；所述开关装置固定于所述传送装置上，所述开关装置包括用于开启与关闭门的钥匙装置、用于吸附门的吸附装置、以及用于控制所述钥匙装置及吸附装置动作的开关装置马达；所述控制器控制所述承载台及传送装置的动作。

2.如权利要求1所述的开关系统，其特征在于，所述开关系统还包括开关按钮，所述开关按钮设置于所述控制器上，以启动所述控制器。

3.如权利要求1所述的开关系统，其特征在于，所述开关系统还包括承载台马达，所述控制器通过所述承载台马达与所述承载台连接，以控制所述承载台的水平转动。

4.如权利要求1所述的开关系统，其特征在于，所述开关系统还包括传送装置马达，所述控制器通过所述传送装置马达与所述传送装置连接，以控制所述传送装置的传送或停止。

5.如权利要求1所述的开关系统，其特征在于，所述传送装置包括传送带与传送导轨，所述开关装置固定在所述传送带上，并沿着所述传送导轨运动。

6.如权利要求5所述的开关系统，其特征在于，所述开关系统还包括第一传感器，所述第一传感器设置于所述传送导轨的两端，用于侦测所述开关装置的位置。

7.如权利要求1所述的开关系统，其特征在于，所述开关系统还包括位置参考装置，所述位置参考装置设置于所述承载台上，用以确定承载所述前开式晶圆盒的位置。

8.如权利要求7所述的开关系统，其特征在于，所述前开式晶圆盒的底部设置有凹陷，所述位置参考装置包括凸起，所述凸起与所述凹陷配合。

9.如权利要求8所述的开关系统，其特征在于，所述凸起的数量为三个。

10.如权利要求8或9所述的开关系统，其特征在于，所述开关系统还包括第二传感器，所述第二传感器设置于所述承载台上，用于侦测所述前开式晶圆盒底部的凹陷与承载台上的凸起是否吻合。

11.如权利要求7所述的开关系统，其特征在于，所述位置参考装置还包括凸起条，所述凸起条设置于所述承载台的边缘位置。

12.如权利要求11所述的开关系统，其特征在于，所述凸起条的数量为四条，其分别设置于所述承载台的四侧边缘。

13.如权利要求1所述的开关系统，其特征在于，所述吸附装置为真空吸盘。