[实用新型]采用探针卡级瞳孔透镜的晶圆级CIS测试装置无效
申请号: | 201020570180.4 | 申请日: | 2010-10-21 |
公开(公告)号: | CN201859198U | 公开(公告)日: | 2011-06-08 |
发明(设计)人: | 李明 | 申请(专利权)人: | 李明 |
主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28;G01R1/08;G01R1/067 |
代理公司: | 南京天华专利代理有限责任公司 32218 | 代理人: | 夏平 |
地址: | 213000 江苏省常*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 采用 探针 瞳孔 透镜 晶圆级 cis 测试 装置 | ||
1.一种采用探针卡级瞳孔透镜的晶圆级CIS测试装置,其特征是它包括校验卡(2)和透镜(4),所述的透镜(4)安装测试装置的在挡板上,校验卡(2)安装在测试装置的LED背光源(1)上,与透镜(4)的透射区域相对位置处。
2.根据权利要求1所述的采用探针卡级瞳孔透镜的晶圆级CIS测试装置,其特征是该测试装置包括LED背光源(1)、探针卡(6),探针卡(6)放置于待测试晶圆(7)的上方,探针卡(6)上的探针(5)与待测试晶圆(7)上CIS芯片(9)的被测焊垫或凸块(8)直接接触,LED背光源(1)置于探针卡(6)的上方,使得光线照射在CIS芯片(9)上,在LED背光源(1)和探针卡(4)之间设有平行通光筒(3),该平行通光筒(3)上设有若干个挡板。
3.根据权利要求1所述的采用探针卡级瞳孔透镜的晶圆级CIS测试装置,其特征是所述的校验卡(2)上设有检验用光标刻度或图案。
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