[实用新型]采用探针卡级瞳孔透镜的晶圆级CIS测试装置无效
| 申请号： | 201020570180.4 | 申请日： | 2010-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN201859198U | 公开（公告）日： | 2011-06-08 |
| 发明（设计）人： | 李明 | 申请（专利权）人： | 李明 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R1/08;G01R1/067 |
| 代理公司： | 南京天华专利代理有限责任公司 32218 | 代理人： | 夏平 |
| 地址： | 213000 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 采用 探针 瞳孔 透镜 晶圆级 cis 测试 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种采用探针卡级瞳孔透镜的晶圆级CIS测试装置，其特征是它包括校验卡（2）和透镜（4），所述的透镜（4）安装测试装置的在挡板上，校验卡（2）安装在测试装置的LED背光源（1）上，与透镜（4）的透射区域相对位置处。
2.根据权利要求1所述的采用探针卡级瞳孔透镜的晶圆级CIS测试装置，其特征是该测试装置包括LED背光源（1）、探针卡（6），探针卡（6）放置于待测试晶圆（7）的上方，探针卡（6）上的探针（5）与待测试晶圆（7）上CIS芯片（9）的被测焊垫或凸块（8）直接接触，LED背光源（1）置于探针卡（6）的上方，使得光线照射在CIS芯片（9）上，在LED背光源（1）和探针卡（4）之间设有平行通光筒（3），该平行通光筒（3）上设有若干个挡板。
3.根据权利要求1所述的采用探针卡级瞳孔透镜的晶圆级CIS测试装置，其特征是所述的校验卡（2）上设有检验用光标刻度或图案。
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