[实用新型]探针框架及具有该探针框架的基板测试装置

权利要求书

1.一种探针框架，包括：

用于与探针框架轨道接触的外框；

用于连接探针的中间棒；

其特征在于，

所述中间棒的两端部通过高度调整结构与所述外框连接，所述高度调整结构用于沿所述探针框架的高度方向调整所述中间棒与外框的相对位置，在对基板进行测试时所述探针框架的高度方向与所述基板的表面垂直。

2.根据权利要求1所述探针框架，其特征在于，所述高度调整结构包括用于沿所述探针框架的高度方向调整所述中间棒与外框的相对位置的第一调节螺丝。

3.根据权利要求2所述探针框架，其特征在于，所述高度调整结构还包括用于将所述中间棒与所述外框相对固定的固定机构。

4.根据权利要求3所述探针框架，其特征在于，所述固定机构为第一固定螺丝。

5.根据权利要求1所述探针框架，其特征在于，所述高度调整结构包括：

至少两个在所述探针框架的高度方向上处于不同位置的凹槽；

用于插入所述凹槽中的凸出部；

且所述高度调整结构还满足下列两条件中的一个：

所述凹槽位于所述中间棒端部的侧壁上，所述凸出部位于所述外框上；

所述凸出部位于所述中间棒端部的侧壁上，所述凹槽位于所述外框上。

6.根据权利要求1至5中任意一项所述探针框架，其特征在于，还包括连接在所述中间棒中部的变形抑止结构。

7.根据权利要求6所述探针框架，其特征在于，所述变形抑止结构包括刚性的、具有用于与中间棒接触的第一平面的龙骨。

8.根据权利要求7所述探针框架，其特征在于，所述龙骨通过变形抑止调整结构与所述中间棒的中部相连接，所述变形抑止调整结构用于沿所述探针框架的高度方向调整所述中间棒与龙骨的相对位置。

9.根据权利要求8所述探针框架，其特征在于，所述变形抑止调整结构包括：

用于沿所述探针框架的高度方向调整所述中间棒与龙骨的相对位置的第二调节螺丝；

用于将所述龙骨与所述外框相对固定的第二固定螺丝。

10.一种基板测试装置，其特征在于，包括如上述权利要求1至9中任意一项所述的探针框架。