[实用新型]探针框架及具有该探针框架的基板测试装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及液晶显示基板测试技术领域，尤其涉及用于对阵列基板上的薄膜晶体管阵列电路进行测试的探针框架及具有该探针框架的基板测试装置。

背景技术

在薄膜晶体管液晶显示面板(TFT LCD)的阵列(Array)工艺中，需要对形成在阵列基板上的薄膜晶体管阵列电路进行测试，以确定其中是否存在短路、断路等不良。如图1、图2所示，在测试中，液晶显示基板(以阵列基板为例，每个阵列基板用于形成多个液晶显示面板)被放在基台1上，基台1两侧有分别各有一条电磁铁2，两条电磁铁2外分别各有一条探针框架轨道3。探针框架的外框4的两侧边可放在两探针框架轨道3上并被电磁铁2产生的磁力吸住，这两个侧边之间具有一根或多根细小的中间棒5，中间棒5下侧可连接多根探针(Pin)(通常每个液晶显示面板需对应两根探针)，探针可与阵列基板上的引线(如数据线、栅极线等)接头(Pad)相接触，通过与探针相连的导线(可位于中间棒5内部，图中未示出)向引线接头施加电信号，即可对薄膜晶体管阵列电路进行测试(或也可使用“短路棒”技术进行测试，此时探针框架中不需要引线)；该探针框架可沿探针框架轨道3移动以对阵列基板的不同位置进行测试。

发明人发现现有技术中至少存在如下问题：为了能使探针与液晶显示基板上的引线接头间保持足够大的接触力(若接触力不足可能导致接触电阻过大，影响测试结果)，电磁铁2必须产生很大的吸力以将探针框架牢固吸引在探针框架轨道3上，但由于电磁铁2只位于探针框架轨道3的侧部，故探针框架的外框4的两侧边会在电磁铁2的吸引力作用下向内、向下移动而导致探针框架变形；而又因为中间棒5很细小且与外框4连成一体，故在外框4变形时中间棒5会如图3所示拱起变形，从而导致部分探针不能与液晶显示基板接触或与液晶显示基板接触不良。

实用新型内容

本实用新型的实施例提供一种探针框架，其可使探针与基板形成良好的接触。

为达到上述目的，本实用新型的实施例采用如下技术方案：

一种探针框架，包括：

用于与探针框架轨道接触的外框；

用于连接探针的中间棒；

所述中间棒的两端部通过高度调整结构与所述外框连接，所述高度调整结构用于沿所述探针框架的高度方向调整所述中间棒与外框的相对位置，在对基板进行测试时所述探针框架的高度方向与所述基板的表面垂直。

由于本实用新型的实施例的探针框架的中间棒通过高度调整结构与外框连接，故其相对于探针框架的高度可调整，从而探针与基板间的距离也可调节，故可使探针与基板形成良好的接触。

本实用新型的实施例提供一种基板测试装置，其可使探针可与基板形成良好的接触。

为达到上述目的，本实用新型的实施例采用如下技术方案：

一种基板测试装置，其包括上述的探针框架。

由于本实用新型的实施例的基板测试装置包括上述的探针框架，故其可使探针与基板形成良好的接触。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1为基板测试装置的基台、电磁铁、探针框架轨道的结构示意图；

图2为现有的探针框架的结构示意图；

图3为现有的探针框架的中间棒发生变形的原理示意图；

图4为本实用新型实施例一的探针框架的结构示意图；

图5为本实用新型实施例一的探针框架的外框、中间棒、龙骨分离时的局部结构示意图；

图6为本实用新型实施例一的探针框架的中间棒与外框的连接处的局部剖面结构示意图；

图7为本实用新型的另一实施例的探针框架的中间棒与外框的连接处的局部剖面结构示意图；

图8为本实用新型实施例二的探针框架的结构示意图；

图9为本实用新型实施例二的探针框架的中间棒的端部的局部结构示意图；

图10为本实用新型实施例二的探针框架的中间棒与外框的连接处的局部剖面结构示意图；

其中附图标记为：1、基台；2、电磁铁；3、探针框架轨道；4、外框；5、中间棒；6、第一调节螺丝；61、螺母；7、第一固定螺丝；71、环状结构；8、龙骨；81、第一平面；9、第二调节螺丝；10、第二固定螺丝；11、凸出部；12、凹槽。

具体实施方式