[实用新型]坩埚涂布加热装置

权利要求书

1.一种坩埚涂布加热装置，在一用以放置加工对象的载台上设有至少一可调整相对位置的推动板，于各推动板的板面上设有至少一第一电热板；其特征在于：

各第一电热板可与所属的推动板相对位移，以及在各第一电热板与其所属的推动板之间衬设有复数个弹性组件。

2.一种坩埚涂布加热装置，在一用以放置加工对象的载台上设有至少一可调整相对位置的推动板，于各推动板的板面上设有至少一第一电热板；其特征在于：

该载台透过一转轴安装于一基座上，另于该基座上设有一马达，以及设有一用以构成马达与转轴传动联结的传动机构。

3.如权利要求1或2所述的坩埚涂布加热装置，其特征在于，各第一电热板分别锁固在一基板上，另有复数个导柱连接于各基板与推动板之间；各导柱的一端固定在基板上，各导柱的另端穿设于推动板上。

4.如权利要求1或2所述的坩埚涂布加热装置，其特征在于，该各第一电热板分别锁固在一基板上，另有复数个导柱连接于各基板与推动板之间；各导柱的一端利用螺丝穿锁固定在基板上，各导柱的另端分别透过一螺栓穿设于推动板上。

5.如权利要求1或2所述的坩埚涂布加热装置，其特征在于，该载台的台面上设有至少一第二电热板供承接加工物件。

6.如权利要求1或2所述的坩埚涂布加热装置，其特征在于，各第一电热板分别锁固在一基板上，另有复数个导柱连接于各基板与推动板之间；各导柱的一端固定在基板上，各导柱的另端穿设于推动板上；载台的台面上设有至少一第二电热板供承接加工物件。

7.如权利要求2所述的坩埚涂布加热装置，其特征在于，该传动机构由分别固设于转轴及马达出力轴上的皮带轮，以及连接于皮带轮之间的皮带所组成。