[实用新型]坩埚涂布加热装置

说明书

技术领域

本实用新型有关一种加热装置，尤指一种能够使电热板自动调整其与加工对象的接触状态，进而使加工对象获较佳受热效果的加热装置。 

背景技术

按，于晶圆生长制程中用以盛装熔融硅原料的坩埚，多属于熔融硅石或石英的硅石坩埚，类似的硅石坩埚于盛装熔融状态的硅原料时，其熔融的硅原料因直接与坩埚的硅石原料接触而反应形成一氧化硅及氧，其中挥发性的一氧化硅与炉内石墨成分反应的后形成碳化硅及一氧化碳，一氧化碳并与熔化硅原料反应，形成另外的挥发性一氧化碳及碳。 

为避免硅原料受上述氧及碳产物的污染，或与于硅石坩埚中的各种杂质(钼、铁、铜、镍等金属)反应，多会于坩埚的内层涂布一保护层，以隔绝硅原料与坩埚本体直接接触，并对坩埚本体表面所逐出的不纯物提供了一种障蔽。 

目前于坩锅涂布保护层前必须先提高坩锅本身的温度，以便进行后续涂布保护层的作业，而提高坩锅温度的方法有利用加热灯加热、利用烤箱烘烤或利用加热板直接加热。 

其中，利用加热板直接对坩埚本体加热的装置如图1所示，主要在一基座11上设有一可被驱动旋转的载台12供放置坩埚20，于载台12上设有复数个推动板13，所有推动板13配置呈一包围状，并可各别朝向载台12中心处的坩埚20相对位移，以及在各推动板13的内侧板面设有至少一供与坩埚20本体接触的电热板14。 

当坩埚20确实被固定于载台12中心处的后，即可各别调整坩埚20推动板13的位置，使相对包围在坩埚20四周的电热板14皆能与坩埚20本体接触，以期在所有电热板14运作时，能够达到使坩埚20均匀受热的效果；并且，配合驱动载台12旋转以增加涂布保护层的便利性。 

然而，上揭图1所示的加热装置当中的所有电热板14直接锁固在所属的推动板13上，因此非常容易受推动板13本身角度偏斜，或是坩埚20放置角度的影响而无法让同一推动板13内侧的电热板14皆与坩埚20本体接触，以致于无法让坩埚20获致原本预期的均匀受热效果。再者，其载台12的旋转采用人力转动的方式操作，于实际操作时相对较容易成为操作人员的负担。 

实用新型内容

本实用新型所解决的技术问题即在提供一种能够使电热板自动调整与加工对象的接触状态，进而使加工对象获致较佳受热效果的加热装置。 

本实用新型的技术方案为：一种加热装置，在一用以放置加工对象的载台上设有至少一可调整相对位置的推动板，于各推动板的板面上设有至少一第一电热板；各第一电热板可与所属的推动板相对位移，以及在各第一电热板与其所属的推动板之间衬设有复数个弹性组件。 

一种加热装置，在一用以放置加工对象的载台上设有至少一可调整相对位置的推动板，于各推动板的板面上设有至少一第一电热板；该载台透过一转轴安装于一基座上，另于该基座上设有一马达，以及设有一用以构成马达与转轴传动联结的传动机构。 

其中，各第一电热板分别锁固在一基板上，另有复数个导柱连接于各基板与推动板之间；各导柱的一端固定在基板上，各导柱的另端穿设于推动板上。 

该各第一电热板分别锁固在一基板上，另有复数个导柱连接于各基板与推动板之间；各导柱的一端利用螺丝穿锁固定在基板上，各导柱的另端分别透过一螺栓穿设于推动板上。 

该载台的台面上设有至少一第二电热板供承接加工物件。 

各第一电热板分别锁固在一基板上，另有复数个导柱连接于各基板与推动板之间；各导柱的一端固定在基板上，各导柱的另端穿设于推动板上；载台的台面上设有至少一第二电热板供承接加工物件。 

该传动机构由分别固设于转轴及马达出力轴上的皮带轮，以及连接于皮带轮之间的皮带所组成。 

本实用新型的有益效果为：本实用新型的加热装置在一用以放置加工对象的载台上设有至少一可调整相对位置的推动板，于各推动板的板面上设有至少一可与推动板相对位移的第一电热板，以及在各第一电热板与推动板之间衬设有复数个弹性组件。 

而当推对板朝向加工对象压贴时，可透过弹性组件的收缩及弹力作用，使各第一电热板自动调整至与加工对象保持最佳的接触状态，进而能够使加工对象获致最佳的受热效果。 

再者，该载台的台面上设有至少一可与载台相对位移的第二电热板供承接加工对象，以利透过第二电热板让加工对象的底部产生受热效果。