[实用新型]一种用于曲面反光镜镀膜的行星旋转机构无效
申请号: | 201020577248.1 | 申请日: | 2010-10-26 |
公开(公告)号: | CN201826009U | 公开(公告)日: | 2011-05-11 |
发明(设计)人: | 鲁振杰;李野;阴哓俊;王诩;王银河;姚春龙 | 申请(专利权)人: | 沈阳仪表科学研究院;沈阳汇博光学技术有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50 |
代理公司: | 沈阳亚泰专利商标代理有限公司 21107 | 代理人: | 郭元艺 |
地址: | 110043 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 曲面 反光镜 镀膜 行星 旋转 机构 | ||
1.一种用于曲面反光镜镀膜的行星旋转机构,其特征在于,包括调速电机(1)、主转动轴(2)、与主转动轴(2)固定相接的工作转盘(3)、真空室(4)、行星夹具盘(5)、滑道(6)及连接件(7);所述滑道(6)横向固定配于真空室(4)内;所述调速电机(1)的输出轴接主转动轴(2);所述连接件(7)的一端与行星夹具盘(5)轴接;连接件(7)的另一端与工作转盘(3)固定相接;所述行星夹具盘(5)可沿滑道(6)滚动。
2.根据权利要求1所述的用于曲面反光镜镀膜的行星旋转机构,其特征在于:所述连接件(7)与工作转盘(3)以可拆卸方式固定相接。
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