[实用新型]一种用于曲面反光镜镀膜的行星旋转机构

说明书

技术领域

本实用新型属真空镀膜设备领域，尤其涉及一种用于曲面反光镜镀膜的行星旋转机构，其可广泛适用于真空镀膜及相关行业，特别适用于曲面反光镜镀膜。

背景技术

目前，反光镜镀制膜层均匀性的要求不断提高。反光镜的同一圆周表面上，每一层膜厚度需要沉积均匀。但是对于传统的旋转机构来说，在曲面面型的基底上镀制的膜层均匀性差，难以达到使用要求。

实用新型内容

本实用新型旨在克服现有技术的不足之处而提供一种结构简单，不需要任何齿轮传动，不要求精密配合，镀制的膜层均匀性好的用于曲面反光镜镀膜的行星旋转机构。

为达到上述目的，本实用新型是这样实现的：

一种用于曲面反光镜镀膜的行星旋转机构，它包括调速电机、主转动轴、与主转动轴固定相接的工作转盘、真空室、行星夹具盘、滑道及连接件；所述滑道水平固定于真空室内；所述调速电机的输出轴接主转动轴；所述连接件的一端与行星夹具盘轴接；连接件的另一端与工作转盘固定相接；所述行星夹具盘可沿滑道滚动。

作为一种优选方案，本实用新型所述连接件与工作转盘以可拆卸方式固定相接。

本实用新型的结构简单、合理，采用摩擦式传动的方法，实现基片在真空室内的转动，从而提高膜层的均匀性，使用方便，适用在大尺寸、曲面面形基片上沉积薄膜。本实用新型行星式传动机构使曲面反光镜基片盘不但能够绕主轴中心公转，同时基片盘可以自传，提高了沉积膜层的均匀性。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步说明。本实用新型的保护范围不仅局限于下列内容的表述。

图1为本实用新型的整体结构示意图。

图中：1为调速电机；2为主转动轴；3为工作转盘；4为真空室；5为行星夹具盘；6为滑道；7为连接件。

具体实施方式

参见图1所示，一种用于曲面反光镜镀膜的行星旋转机构，它包括调速电机1、主转动轴2、与主转动轴2固定相接的工作转盘3、真空室4、行星夹具盘5、滑道6及连接件7；所述滑道6横向固定配于真空室4内；所述调速电机1的输出轴接主转动轴2；所述连接件7的一端与行星夹具盘5轴接；连接件7的另一端与工作转盘3固定相接；所述行星夹具盘5可沿滑道6滚动。本实用新型所述连接件7与工作转盘3以可拆卸方式固定相接。

本实用新型行星式机构在镀膜过程中不但能够绕中心公转，同时基片盘通过传动可以自传，提成了镀膜过程沉积膜层的均匀性。

本实用新型行星夹具盘在绕主轴公转的同时，还将以转动摩擦的方式在滑道上进行自转。这种结构不需要任何齿轮传动，依靠滑轮与滑道间静摩擦力传动，结构简单合理，实现了需要的功能。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。