[实用新型]自清洁装置及基板处理设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及液晶显示器制造设备，特别涉及一种自清洁装置及基板处理设备。

背景技术

在液晶显示器的制造过程中，会用到大量的液体物质，例如水、药液等。上述液体物质是通过管道运输到基板处理设备的各个功能槽中，进而对基板等产品进行物理或化学处理。在这一过程中，由于长期的压力和腐蚀作用，管道或功能槽出现泄露的现象时有发生。现有技术中通常是采用人工清洁方式，由清理人员用水对泄露的液体物质进行清洗，再利用无尘布擦干。

但是，上述的现有技术存在以下技术缺陷：一方面，人工手动清洁方式清理时间较长，导致设备停机时间久，生产效率降低；另一方面，对基板进行处理的液体物质大多是强酸碱、强毒害性液体，处理时对清理人员身体危害极大。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种自清洁装置及基板处理设备，以解决人工清洁泄露液体时效率低且对人体危害大的问题，实现对泄露液体物质的自动清洁。

本实用新型提供一种自清洁装置，包括：漏液接收槽、第一移动部件和第二移动部件，以及用于对所述漏液接收槽内的漏液进行清洗的清洗部件；

所述漏液接收槽的底部设置有排泄漏口；所述第一移动部件和第二移动部件分别沿所述漏液接收槽的相对两侧边设置；所述清洗部件的两端分别连接所述第一移动部件和第二移动部件；所述清洗部件还连接清洗物质供应导管。

如上所述的自清洁装置，还包括隔离挡板，设置在所述漏液接收槽的外围。

如上所述的自清洁装置，所述第一移动部件或第二移动部件包括：传送带、传送带固定装置、电机、电机支架、滑块和导轨；所述电机安装于所述电机支架上，并通过轴装置与所述传送带固定装置连接；所述传送带的两端安装于所述传送带固定装置上；所述滑块固定在所述传送带上，且与所述导轨滑动连接；所述清洗部件的两端固定在所述滑块上。

如上所述的自清洁装置，所述清洗部件包括：刀体和位于所述刀体内部的清洗物质通道；所述刀体上设置有与所述清洗物质通道相连通的第一出口，所述清洗物质通道与所述清洗物质供应导管相连通。

如上所述的自清洁装置，所述刀体由两个对合的刀片组成，所述第一出口位于对合的刀刃处；所述清洗物质通道上设置有第二出口，所述第二出口的开口方向与所述第一出口的开口方向相背对；所述清洗物质通道和所述刀体之间存在混合间隙，所述第二出口通过所述混合间隙与所述第一出口相连通。

如上所述的自清洁装置，所述清洗物质供应导管穿设于履带中，所述履带的一端固定在所述滑块上，另一端固定在所述漏液接收槽处。

如上所述的自清洁装置，所述清洗物质供应导管的管道接口处设置有自动阀门。

如上所述的自清洁装置，还包括：位置检测传感器，设置在所述导轨的两端；所述滑块上设置有与所述位置检测传感器相应的定位触片。

如上所述的自清洁装置，所述漏液接收槽上固定有安装支架，所述安装支架上设置有检测传感器。

本实用新型提供一种基板处理设备，包括功能槽、清洗设备、供应管道和基座板；所述供应管道与所述功能槽连接，所述清洗设备设置在所述基座板上，并通过供应管道与所述功能槽连接；所述基座板的下部设置有本实用新型所提供的自清洁装置。

本实用新型的自清洁装置及基板处理设备，通过设置清洗部件和移动部件等，使得移动部件可以带动清洗部件对漏液接收槽中的漏液进行自动清洗，解决了人工清洁泄露液体时效率低且对人体危害大的问题，实现了自动、快速的解决设备泄漏，减少了药液对人体的危害，降低了设备停机维护的时间，提高了漏液处理的效率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型自清洁装置的应用结构的主视图；

图2为本实用新型自清洁装置的应用结构的俯视图；

图3为图1中的移动部件的结构示意图；

图4为图1中的清洗部件的结构示意图；

图5为图1中的清洗部件的端部结构示意图。

附图标记说明：

11-漏液接收槽；  12-清洗部件；        13-排泄漏口；

14-传送带；      15-传送带固定装置；  16-电机；

17-电机支架；    18-滑块；            19-导轨；