[实用新型]一种晶片测试机中的取送片机构无效
申请号: | 201020584925.2 | 申请日: | 2010-11-01 |
公开(公告)号: | CN201867417U | 公开(公告)日: | 2011-06-15 |
发明(设计)人: | 沈彪;李向清;胡德良 | 申请(专利权)人: | 江阴市爱多光伏科技有限公司 |
主分类号: | G01N35/10 | 分类号: | G01N35/10 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 214423 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 晶片 测试 中的 取送片 机构 | ||
1.一种晶片测试机中的取送片机构,由取片装置和送片装置组成,其特征在于,取片装置包括一个往复运行的取片滑块(3),和一个能随滑块(3)运行并可摆动的与气管连通的取片吸嘴(6),送片装置包括一个往复运行的送片滑块(15),和一个能随滑块(15)运行与气管连通的送片吸嘴(10)。
2.根据权利要求1所述的取送片机构,其特征在于,滑块(3)和滑块(15)分别安装在无杆气缸(2)和无杆气缸(11)上,并可沿导轨往复滑动。
3.根据权利要求2所述的取送片机构,其特征在于,取片吸嘴(6)安装在摆动气缸(5)上,摆动气缸(5)安装在取片升降气缸(4)上,升降气缸(4)与滑块(3)连接,吸嘴(6)的摆角为90°。
4.根据权利要求2所述的取送片机构,其特征在于,吸嘴(10)通过送片升降气缸(9)与滑块(15)连接。
5.根据权利要求1所边的取送片机构,其特征在于,吸嘴(6)和(10)位于测片台(7)、片匣(14)所在的同一轴线上。
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