[实用新型]调整玻璃基板位置的装置有效
申请号: | 201020592167.9 | 申请日: | 2010-10-29 |
公开(公告)号: | CN201887031U | 公开(公告)日: | 2011-06-29 |
发明(设计)人: | 马海涛;田超;林金升;佟国军 | 申请(专利权)人: | 北京京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68;H01L21/683;G02F1/1333 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 刘芳 |
地址: | 100176 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 调整 玻璃 位置 装置 | ||
1.一种调整玻璃基板位置的装置,包括升降活塞、支撑架,其特征在于,还包括:
旋转电机,位于所述升降活塞及支撑架的下方,转子通过所述升降活塞与所述支撑架相连;
第一基台,位于所述旋转电机的下方,所述旋转电机的底座固定在所述第一基台的上表面;
第一直线电机,位于所述第一基台的下方,动子固定于所述第一基台的下表面;
第二基台,位于所述第一直线电机的下方,所述第一直线电机的底座固定在所述第二基台的上表面;
第二直线电机,位于所述第二基台的下方,动子固定于所述第二基台的下表面,动子的移动方向与所述第一直线电机的动子移动方向垂直;
第三基台,位于所述第二直线电机的下方,所述第二直线电机的底座固定在所述第三基台的上表面。
2.根据权利要求1所述的调整玻璃基板位置的装置,其特征在于,还包括:
红外对射器件,包括红外发生器及红外接收器,所述红外发生器位于用于放置待调整的玻璃基板的机台上表面,平面尺寸大于所述待调整的玻璃基板的平面尺寸,所述红外接收器位于所述红外发生器的上方;
用于根据所述红外接收器接收的信号调节玻璃基板位置的控制部件,所述控制部件的输入端与所述红外接收器相连,输出端与所述旋转电机、第一直线电机及第二直线电机的控制信号输入端相连。
3.根据权利要求2所述的调整玻璃基板位置的装置,其特征在于,所述控制部件包括:
用于根据所述红外接收器发送的信号生成调节控制信号的信号处理装置,输入端与所述红外接收器连接,包括输出调节控制信号的输出端;
用于根据所述调节控制信号生成控制电机运行的脉冲信号的电机驱动装置,输入端与所述输出调节控制信号的输出端相连,输出端与所述旋转电机、第一直线电机及第二直线电机的控制信号输入端相连。
4.根据权利要求3所述的调整玻璃基板位置的装置,其特征在于,所述信号处理装置为:计算机或微处理器,所述计算机或微处理器与所述红外接收器的通信方式为RS232。
5.根据权利要求1-4任一项所述的调整玻璃基板位置的装置,其特征在于,还包括:支撑所述第一基台的第一平面支撑杆,设置于所述第一基台与第二基台之间;所述第一平面支撑杆与所述第二基台接触的一端设置有吹气装置。
6.根据权利要求1-4任一项所述的调整玻璃基板位置的装置,其特征在于,还包括:
支撑所述第二基台的第二平面支撑杆,设置于所述第三基台与第二基台之间;所述第二平面支撑杆与所述第三基台接触的一端设置有吹气装置。
7.根据权利要求1-4任一项所述的调整玻璃基板位置的装置,其特征在于,还包括:支撑所述第一基台的第一导轨装置,设置于所述第一基台与第二基台之间。
8.根据权利要求1-4任一项所述的调整玻璃基板位置的装置,其特征在于,还包括:支撑所述第二基台的第二导轨装置,设置于所述第三基台与第二基台之间。
9.根据权利要求1-4任一项所述的调整玻璃基板位置的装置,其特征在于,还包括:支撑所述第一基台的第一滚轮,设置于所述第一基台与第二基台之间。
10.根据权利要求1-4任一项所述的调整玻璃基板位置的装置,其特征在于,还包括:支撑所述第二基台的第二滚轮,设置于所述第三基台与第二基台之间。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造