[实用新型]调整玻璃基板位置的装置有效
申请号: | 201020592167.9 | 申请日: | 2010-10-29 |
公开(公告)号: | CN201887031U | 公开(公告)日: | 2011-06-29 |
发明(设计)人: | 马海涛;田超;林金升;佟国军 | 申请(专利权)人: | 北京京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68;H01L21/683;G02F1/1333 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 刘芳 |
地址: | 100176 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 调整 玻璃 位置 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及液晶显示技术,尤其涉及一种调整玻璃基板位置的装置。
背景技术
液晶显示器是目前常用的平板显示器,其中薄膜晶体管液晶显示器(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display,简称TFT-LCD)是液晶显示器中的主流产品。
TFT-LCD制造过程大概可以分为三个阶段。
第一个阶段为矩阵(Array)工艺,该工艺在一张较大的玻璃基板上形成若干独立的TFT像素阵列电路,每个像素阵列区对应一个液晶显示屏(panel)。
第二个阶段为单元(cell)工艺,该工艺在TFT基板上涂布液晶,覆盖彩色滤光片,拼合成LCD面板并切割成独立的液晶显示屏。
第三个阶段为液晶显示屏安装背光源,偏振片以及周边电路,形成完整的TFT-LCD显示模块。
在矩阵工艺中,绝大部分设备设有可以上下运动的支撑装置,还设有用来校准玻璃基板与机台相对位置的卡位装置。
现有技术中,支撑装置包括升降活塞及由所述升降活塞控制升降的支撑架,支撑架由多个支撑杆构成,这些支撑杆固定在同一个升降台上,它们可以同时升起或者下降。升降活塞位于机台下方,各支撑杆均对应穿设在机台上的各支撑杆通道圆孔中。卡位装置位于机台边缘。
如图1所示,当玻璃基板被机械手10送至设备中时,支撑装置的升降活塞控制支撑架2从机台8的支撑杆通道圆孔81中升起至撑住玻璃基板9。待机械手10移动出设备时,升降活塞下降,带动支撑架2下落,直至将玻璃基板9放置在机台8上。然后,卡位装置通过推动玻璃基板,以调整玻璃基板与机台的相对位置,最终便于设备确定玻璃基板的位置,即对位。调整完毕后,机台8将开启真空吸附功能,将玻璃基板9吸附在机台上。
现有的支撑装置仅具有升降功能,无法调整玻璃基板与机台的相对位置,而现有阵列基板制造或者检测设备利用电机、气缸等装置对玻璃基板进行卡位,卡位装置不断地与玻璃基板接触,易造成玻璃基板的损伤甚至断裂,且在设备机台的周边只能设置有限的卡位装置,各个卡位装置间的差异导致力矩不平衡,使玻璃基板与机台之间产生转角,转角过大时将严重影响设备的对位精度。
实用新型内容
本实用新型提供一种调整玻璃基板位置的装置,以实现玻璃基板对位过程中的安全性。
本实用新型提供一种调整玻璃基板位置的装置,包括升降活塞、支撑架,其中,还包括:
旋转电机,位于所述升降活塞及支撑架的下方,转子通过所述升降活塞与所述支撑架相连;
第一基台,位于所述旋转电机的下方,所述旋转电机的底座固定在所述第一基台的上表面;
第一直线电机,位于所述第一基台的下方,动子固定于所述第一基台的下表面;
第二基台,位于所述第一直线电机的下方,所述第一直线电机的底座固定在所述第二基台的上表面;
第二直线电机,位于所述第二基台的下方,动子固定于所述第二基台的下表面,动子的移动方向与所述第一直线电机的动子移动方向垂直;
第三基台,位于所述第二直线电机的下方,所述第二直线电机的底座固定在所述第三基台的上表面。
作为本实用新型的进一步改进,如上所述的调整玻璃基板位置的装置还可包括:
红外对射器件,包括红外发生器及红外接收器,所述红外发生器位于用于放置待调整的玻璃基板的机台上表面,平面尺寸大于所述待调整的玻璃基板的平面尺寸,所述红外接收器位于所述红外发生器的上方;
用于根据所述红外接收器接收的信号调节玻璃基板位置的控制部件,所述控制部件的输入端与所述红外接收器相连,输出端与所述旋转电机、第一直线电机及第二直线电机的控制信号输入端相连。
所述控制部件可包括:
用于根据所述红外接收器发送的信号生成调节控制信号的信号处理装置,输入端与所述红外接收器连接,包括输出调节控制信号的输出端;
用于根据所述调节控制信号生成控制电机运行的脉冲信号的电机驱动装置,输入端与所述输出调节控制信号的输出端相连,输出端与所述旋转电机、第一直线电机及第二直线电机的控制信号输入端相连。
所述信号处理装置可为:计算机或微处理器,所述计算机或微处理器与所述红外接收器的通信方式为RS232。
如上所述的调整玻璃基板位置的装置还可包括:
支撑所述第一基台的第一平面支撑杆、第一导轨装置或第一滚轮,设置于所述第一基台与第二基台之间;
所述第一平面支撑杆与所述第二基台接触的一端设置有吹气装置。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造