[实用新型]半导体基板有效

专利信息
申请号: 201020593946.0 申请日: 2010-10-29
公开(公告)号: CN201985109U 公开(公告)日: 2011-09-21
发明(设计)人: 吴孟修;陈永芳;戴煜暐 申请(专利权)人: 新日光能源科技股份有限公司
主分类号: H01L31/02 分类号: H01L31/02;H01L31/18;H01L21/302
代理公司: 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 代理人: 赵蓉民
地址: 中国台湾新竹科*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 半导体
【权利要求书】:

1.一种半导体基板,其特征在于,其包括:

一基板;

至少一半导体层,设置在所述基板上;

一第一抗反射层,设置在所述半导体层上;以及

一第二抗反射层,设置在所述第一抗反射层上,且所述第二抗反射层为不连续层,其具有光子转换效应。

2.根据权利要求1所述的半导体基板,其特征在于,其中所述基板为单晶硅基板、多晶硅基板、非晶硅基板或微晶硅基板。

3.根据权利要求1所述的半导体基板,其特征在于,其中所述第一抗反射层的材质为氧化硅、氮化硅或氮氧化硅。

4.根据权利要求1所述的半导体基板,其特征在于,其中所述第二抗反射层由多个粒子团所构成,所述粒子团由多个粒子组成。

5.根据权利要求4所述的半导体基板,其特征在于,其中组成所述粒子团的所述粒子的数量为相同。

6.根据权利要求4所述的半导体基板,其特征在于,其中组成所述粒子团的所述粒子的数量为不相同。

7.根据权利要求4所述的半导体基板,其特征在于,其中所述粒子团为规则的形状。

8.根据权利要求4所述的半导体基板,其特征在于,其中所述粒子团为不规则的形状。

9.根据权利要求4所述的半导体基板,其特征在于,其中所述粒子团的形状为相同或实质相同。

10.根据权利要求4所述的半导体基板,其特征在于,其中所述粒子团的形状为不相同。

11.根据权利要求4所述的半导体基板,其特征在于,其中所述粒子团的设置位置为规则的分布。

12.根据权利要求4所述的半导体基板,其特征在于,其中所述粒子团的设置位置为不规则的分布。

13.根据权利要求1所述的半导体基板,其特征在于,还包括:

一电极层,设置在所述第一抗反射层上。 

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