[实用新型]一种真空电弧钛泵无效
| 申请号： | 201020629048.6 | 申请日： | 2010-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN201891569U | 公开（公告）日： | 2011-07-06 |
| 发明（设计）人： | 黄瑞安 | 申请（专利权）人： | 黄瑞安 |
| 主分类号： | F04B37/14 | 分类号： | F04B37/14 |
| 代理公司： | 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288 | 代理人： | 廖平 |
| 地址： | 515735 广东省潮州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空 电弧 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空电弧钛泵，其特征在于包括泵体、钛蒸发源、引弧杆、钛靶、法兰、真空室和电源，所述钛蒸发源置于泵体的左边，钛靶置于泵体的右边，所述引弧杆置于钛蒸发源与钛靶之间，所述钛蒸发源与引弧杆分别通过开关与电源相连，所述泵体的左侧壁上设有通气孔，所述通气孔通过法兰与真空室相连，所述泵体的右侧壁上设置有抽风孔。
2.根据权利要求1所述的真空电弧钛泵，其特征在于所述的抽风孔内设有钛粒子遮挡板。
3.根据权利要求1所述的真空电弧钛泵，其特征在于所述抽风孔的出口处设有抽风机。
4.根据权利要求1所述的真空电弧钛泵，其特征在于所述泵体的左侧壁上设有观察窗。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的真空电弧钛泵，其特征在于所述钛靶的右侧设有电磁装置。
6.根据权利要求5所述的真空电弧钛泵，其特征在于所述电磁装置为磁条或电磁线圈。
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