[实用新型]一种真空电弧钛泵

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种真空电弧钛泵，属于电弧装置技术领域。

背景技术

钛泵作为一种吸气剂泵，其工作过程是将钛以各种方式不断蒸发升华而沉积在泵壁上形成一层层钛膜，气体分子与钛膜化合形成固定化合物，这相当于将气体抽走了。目前，钛泵主要有钛升华泵、弹道式钛泵和溅射离子泵。这些钛泵大一定程度上能满足工业要求，但它们也存在缺点：抽气效率低，结构笨重。

实用新型内容

本实用新型为了克服现有技术的不足，提供一种真空电弧钛泵。

本实用新型可以通过采取以下技术方案予以实现：

一种真空电弧钛泵，包括泵体、钛蒸发源、引弧杆、钛靶、法兰、真空室和电源，所述钛蒸发源置于泵体的左边，钛靶置于泵体的右边，所述引弧杆置于钛蒸发源与钛靶之间，所述钛蒸发源与引弧杆分别通过开关与电源相连，所述泵体的左侧壁上设有通气孔，所述通气孔通过法兰与真空室相连，所述泵体的右侧壁上设置有抽风孔。

在上述基础上，本实用新型所述的抽风孔内设有钛粒子遮挡板；所述抽风孔的出口处设有抽风机；所述泵体的左侧壁上设有观察窗；所述钛靶的右侧设有电磁装置；所述电磁装置为磁条或电磁线圈。

与现有技术相比较，本实用新型具有以下优点：本实用新型将钛蒸发源和钛靶都设置在泵体内，使其在泵体内蒸发升华，同时利用抽风孔抽出气体使泵体内形成的钛膜能与气体反应，能快速地吸收气体，使工业过程能顺利进行。另外，本实用新型结构简单，操作方便，适用性广。

附图说明

图1是本实用新型的真空电弧钛泵的结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的具体实施方式作详细描述。

如图1所示，本实用新型的真空电弧钛泵，包括泵体1、钛蒸发源2、引弧杆3、钛靶4、法兰5、真空室6和电源7，所述钛蒸发源2置于泵体1的左边，钛靶4置于泵体1的右边，所述引弧杆3置于钛蒸发源2与钛靶4之间，所述钛蒸发源2与引弧杆3分别通过开关与电源7相连，所述泵体1的左侧壁上设有通气孔8，所述通气孔8通过法兰5与真空室6相连，所述泵体1的右侧壁上设置有抽风孔9。

在上述基础上，本实用新型所述的抽风孔9内设有钛粒子遮挡板10，防止钛粒子外泄；所述抽风孔9的出口处设有抽风机11；所述泵体1的左侧壁上设有观察窗12，供用户观察钛蒸发情况；所述钛靶4的右侧设有电磁装置13；所述电磁装置为磁条或电磁线圈，用于吸附钛粒子，使其不偏离钛靶方向。

钛泵运行时，电源接通，引弧杆迅速与钛靶接触，钛蒸发源开始蒸发升华，钛靶吸附钛粒子，同时，法兰打开，抽风机将真空室内的气体抽出与钛粒子反应形成固定化合物。

本实用新型将钛蒸发源和钛靶都设置在泵体内，使其在泵体内蒸发升华，同时利用抽风孔抽出气体使泵体内形成的钛膜能与气体反应，能快速地吸收气体，使工业过程能顺利进行。另外，本实用新型结构简单，操作方便，适用性广。