[实用新型]一种基板搬送机器人有效
| 申请号： | 201020675808.7 | 申请日： | 2010-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN201881379U | 公开（公告）日： | 2011-06-29 |
| 发明（设计）人： | 刘永亮;张君 | 申请（专利权）人： | 北京京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B25J9/08 | 分类号： | B25J9/08;B25J15/00;G02F1/1333 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100176 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基板搬送 机器人 | ||
1.一种基板搬送机器人，包括机器人本体，手臂以及位于手臂上的支撑物，其特征在于，
所述手臂上设置有可沿手臂长度方向移动的支撑物底座；
在所述支撑物底座上，在垂直于手臂长度方向的方向上，设置有固定所述支撑物的第一卡槽。
2.根据权利要求1所述的基板搬送机器人，其特征在于，
在所述支撑物底座上，在垂直于手臂长度方向的方向上，设置有用于将所述支撑物底座固定在所述手臂上的第二卡槽。
3.根据权利要求1或2所述的基板搬送机器人，其特征在于，所述第一卡槽为连通的卡槽。
4.根据权利要求3所述的基板搬送机器人，其特征在于，所述第一卡槽为连通的牙型卡槽。
5.根据权利要求2所述的基板搬送机器人，其特征在于，所述第二卡槽为连通的矩形卡槽。
6.根据权利要求2或5所述的基板搬送机器人，其特征在于，确定好位置后，所述支撑物底座通过位于所述第二卡槽中的螺栓固定在所述搬送机器人的手臂上。
7.根据权利要求4所述的基板搬送机器人，其特征在于，所述连通的牙型卡槽包括通孔和沉头孔，其中，所述通孔的直径小于所述沉头孔的直径。
8.根据权利要求7所述的基板搬送机器人，其特征在于，所述支撑物包括：
支撑头、阻挡部、导向杆、螺旋弹簧和底板；
其中，所述阻挡部的一端连接所述支撑头，另一端连接所述导向杆；所述螺旋弹簧的一端与所述阻挡部连接，另一端与所述底板连接，所述导向杆位于所述螺旋弹簧中；
所述阻挡部的直径与所述支撑物底座上的牙型卡槽的沉头孔直径相等；插有所述导向杆的所述螺旋弹簧的直径与所述牙型卡槽的通孔直径相等；所述底板的直径大于所述牙型卡槽的通孔的直径；所述螺旋弹簧的长度小于所述牙型卡槽的通孔的长度；所述导向杆的长度小于等于所述螺旋弹簧的长度。
9.根据权利要求1所述的基板搬送机器人，其特征在于，所述第一卡槽外侧在垂直于手臂长度的方向上设有尺寸标记。
10.根据权利要求2所述的基板搬送机器人，其特征在于，所述第二卡槽外侧在垂直于手臂长度的方向上设有尺寸标记。
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