[实用新型]一种MEMS麦克风芯片有效
| 申请号： | 201020676219.0 | 申请日： | 2010-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN201947431U | 公开（公告）日： | 2011-08-24 |
| 发明（设计）人： | 蔡孟锦 | 申请（专利权）人： | 歌尔声学股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R3/00 | 分类号： | H04R3/00 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 林锦辉;陈英俊 |
| 地址： | 261031 山东省潍坊*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 mems 麦克风 芯片 | ||
1.一种MEMS麦克风芯片，包括中部设有空洞的基底(1)、振动膜片(4)以及与所述振动膜片(4)相对应设置的固定极板(5)，其特征在于，
所述振动膜片(4)自由设置在一卡槽(32)内，所述振动膜片(4)的外围轮廓大于所述卡槽(32)的较小内孔轮廓、小于所述卡槽(32)的较大内孔轮廓。
2.如权利要求1所述的MEMS麦克风芯片，其特征在于，
所述基底(1)与所述卡槽(32)是一体的。
3.如权利要求1所述的MEMS麦克风芯片，其特征在于，
所述MEMS麦克风芯片还包括依次设置在所述基底(1)上的绝缘层(2)和固定层(3)，所述固定极板(5)的边缘固定在所述固定层(3)上；
所述绝缘层(2)和所述固定层(3)结合形成所述卡槽(32)。
4.如权利要求3所述的MEMS麦克风芯片，其特征在于，
在所述固定极板(5)远离振动膜片(4)的一个表面上设置有金属层(51)，在所述金属层(51)上设置有极板层金属焊点(52)。
5.如权利要求4所述的MEMS麦克风芯片，其特征在于，
所述金属层(51)的尺寸和形状与所述振动膜片(4)的尺寸和形状一致。
6.如权利要求3所述的MEMS麦克风芯片，其特征在于，
在所述固定层(3)上设置有固定层金属焊点(31)；
在所述固定极板(5)上设置有极板层金属焊点(52)。
7.如权利要求3所述的MEMS麦克风芯片，其特征在于，
所述固定极板(5)的边缘通过一隔离层(6)固定在所述固定层(3)上。
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